Распределение распыленных атомов по скоростям

Thompson M. W. The Velocity Distribution of Sputtered Atoms//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res. Ser. B. 1987. V. 18. P. 411–429. — Перевод A. II. Додонова.
Профессор М. У. Томпсон — вице-канцлер Бирмингемского университета, Англия.

Обзор экспериментальных методов определения распределений распыленных частиц по скоростям. Проведено критическое сравнение основных методов: калориметрического, динамометрического, электромагнитного кинематического и оптического. Описаны основные особенности наблюдаемых распределений для металлических поликристаллических и монокристаллических мишеней. Выделены основные механизмы распыления для таких систем.

Текст pdf (730 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811d.0513
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/
Цитата: Томпсон М У "Распределение распыленных атомов по скоростям" УФН 156 513–543 (1988)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Tompson:1988,
	author = {М. У. Томпсон},
	title = {Распределение распыленных атомов по скоростям},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1988},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {156},
	number = {11},
	pages = {513-543},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/},
	doi = {10.3367/UFNr.0156.198811d.0513}
}