Выпуски

 / 

1988

 / 

Ноябрь

  

Физика наших дней


Распределение распыленных атомов по скоростям

Thompson M. W. The Velocity Distribution of Sputtered Atoms//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res. Ser. B. 1987. V. 18. P. 411–429. — Перевод A. II. Додонова.
Профессор М. У. Томпсон — вице-канцлер Бирмингемского университета, Англия.

Обзор экспериментальных методов определения распределений распыленных частиц по скоростям. Проведено критическое сравнение основных методов: калориметрического, динамометрического, электромагнитного кинематического и оптического. Описаны основные особенности наблюдаемых распределений для металлических поликристаллических и монокристаллических мишеней. Выделены основные механизмы распыления для таких систем.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811d.0513
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/
Цитата: Томпсон М У "Распределение распыленных атомов по скоростям" УФН 156 513–543 (1988)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Распределение распыленных атомов по скоростям
A1 Томпсон,М.У.
PB Успехи физических наук
PY 1988
FD 10 Nov, 1988
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 156
IS 11
SP 513-543
DO 10.3367/UFNr.0156.198811d.0513
LK https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/d/
© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение