Выпуски

 / 

1984

 / 

Июнь

  

Библиография


Ионная имплантация: оборудование и методика


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Рецензия: I o n I m p l a n t a t i o n : E q u i p m e n t a n d T e c h n i q u e s/Ed. H. Ryssel, H. G. Glawischnig. — Berlin; Heidelberg; New York; Tokyo: Springer-Verlag, 1983.- 556 p .- (Springer Series in Electrophysics. V. 11).

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
DOI: 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/
Цитата: Вавилов В С "Ионная имплантация: оборудование и методика" УФН 143 336–337 (1984)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
© Успехи физических наук, 1918–2018
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение