Ионная имплантация: оборудование и методика

Рецензия: I o n I m p l a n t a t i o n : E q u i p m e n t a n d T e c h n i q u e s/Ed. H. Ryssel, H. G. Glawischnig. — Berlin; Heidelberg; New York; Tokyo: Springer-Verlag, 1983.- 556 p .- (Springer Series in Electrophysics. V. 11).

Текст pdf (538 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/
Цитата: Вавилов В С "Ионная имплантация: оборудование и методика" УФН 143 336–337 (1984)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

Русский

English

PT Journal Article
TI Ионная имплантация: оборудование и методика
AU Вавилов В С
FAU Вавилов ВС
DP 10 Jun, 1984
TA Усп. физ. наук
VI 143
IP 6
PG 336-337
RX 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336
URL https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/
SO Усп. физ. наук 1984 Jun 10;143(6):336-337