Выпуски

 / 

1984

 / 

Июнь

  

Библиография


Ионная имплантация: оборудование и методика


Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Рецензия: I o n I m p l a n t a t i o n : E q u i p m e n t a n d T e c h n i q u e s/Ed. H. Ryssel, H. G. Glawischnig. — Berlin; Heidelberg; New York; Tokyo: Springer-Verlag, 1983.- 556 p .- (Springer Series in Electrophysics. V. 11).

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
DOI: 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/
Цитата: Вавилов В С "Ионная имплантация: оборудование и методика" УФН 143 336–337 (1984)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
@article{Vavilov:1984,
	author = {В. С. Вавилов},
	title = {Ионная имплантация: оборудование и методика},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1984},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {143},
	number = {6},
	pages = {336-337},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/},
	doi = {10.3367/UFNr.0143.198406s.0336}
}
© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение