Ионная имплантация: оборудование и методика

Рецензия: I o n I m p l a n t a t i o n : E q u i p m e n t a n d T e c h n i q u e s/Ed. H. Ryssel, H. G. Glawischnig. - Berlin; Heidelberg; New York; Tokyo: Springer-Verlag, 1983.- 556 p .- (Springer Series in Electrophysics. V. 11).

Текст pdf (538 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0143.198406s.0336
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/6/s/
Цитата: Вавилов В С "Ионная имплантация: оборудование и методика" УФН 143 336–337 (1984)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Похожие статьи (20) ↓

В.С. Вавилов «Техника ионной имплантации» УФН 140 737–738 (1983)
В.С. Вавилов «Распыление твердых тел бомбардировкой частицами» УФН 144 544–545 (1984)
В.Ф. Муханов «Прикладные аспекты теории относительности» УФН 148 387–388 (1986)
А.П. Силин «Сильные магнитные поля в физике полупроводников» УФН 155 736–737 (1988)
К.П. Зыбин «Кинетическая теория частиц и фотонов» УФН 154 536–537 (1988)
О.В. Руденко «Теория нелинейных решеток» УФН 138 160–160 (1982)
И.Л. Фабелинский «Лазерная спектроскопия» УФН 137 367–368 (1982)
И.М. Дремин «Квантовая хромодинамика» УФН 143 335–335 (1984)
И.А. Щербаков «Мощные импульсные лазерные системы на неодимовом стекле» УФН 138 538–538 (1982)
Е.А. Андрюшин «Неупругие соударения частиц с поверхностью» УФН 138 158–159 (1982)
Н.В. Карлов «Вопросы лазерной спектроскопии» УФН 138 159–159 (1982)
Г.В. Скроцкий, Е.Ф. Лощенкова «Хорошая книга по теории магнетизма» УФН 136 733–733 (1982)
В.М. Агранович «Своевременная книга о физике поверхности» УФН 136 357–359 (1982)
А.С. Ахманов, С.С. Соболев «Пикосекундные явления – II» УФН 136 177–179 (1982)
А.П. Силин «Двумерные системы, гетероструктуры и сверхрешетки» УФН 147 197–198 (1985)
Л.Н. Булаевский «Теория магнетизма» УФН 150 331–331 (1986)
Е.И. Волков «Нелинейные колебания в химии и биологии» УФН 148 555–556 (1986)
П.И. Арсеев «Квантовая статистика динамических процессов» УФН 161 (4) 186–188 (1991)
П.Г. Елисеев «Лазерная инженерия» УФН 160 (2) 338–339 (1990)
Д.И. Хомский «Магнитные фазовые переходы» УФН 145 181–182 (1985)

Список формируется автоматически.