Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники

Ю.В. Гуляев^а, В.Б. Сандомирский, А.А. Суханов, Ю.Я. Ткач
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Микроэлектроника — область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для переработки и передачи информации.

Текст pdf (1,5 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121

PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/
Цитата: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я "Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники" УФН 144 475–495 (1984)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Physical limitations on miniaturization in microelectronics
A1 Gulyaev,Yu.V.
A1 Sandomirskii,V.B.
A1 Sukhanov,A.A.
A1 Tkach,Yu.Ya.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1984
FD 10 Nov, 1984
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 144
IS 11
SP 475-495
DO 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475
LK https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/

English citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya “Physical limitations on miniaturization in microelectronics” Sov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984); DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121