Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники

Ю.В. Гуляев^а, В.Б. Сандомирский, А.А. Суханов, Ю.Я. Ткач
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Микроэлектроника — область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для переработки и передачи информации.

Текст pdf (1,5 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121

PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/
Цитата: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я "Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники" УФН 144 475–495 (1984)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya “Physical limitations on miniaturization in microelectronics” Sov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984); DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121