Выпуски

 / 

1984

 / 

ноябрь

←  →

Физика наших дней


Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники

 а, , ,
а Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Микроэлектроника — область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для переработки и передачи информации.

Текст pdf (1,5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121
PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/
Цитата: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я "Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники" УФН 144 475–495 (1984)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya “Physical limitations on miniaturization in microelectronics” Sov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984); DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121

Статьи, ссылающиеся на эту (11) Похожие статьи (20) ↓

  1. Р.Ф. Фейнман «Квантовомеханические эвм» УФН 149 671–688 (1986)
  2. А.М. Кугушев «Радиоэлектроника» УФН 67 663–703 (1959)
  3. К.В. Птицына, С.В. Троицкий «Физические условия в потенциальных ускорителях космических лучей сверхвысоких энергий: обновлённая диаграмма Хилласа и ограничения из потерь на излучение» УФН 180 723–734 (2010)
  4. А.Я. Беленький «Электронные поверхностные состояния в кристаллах» УФН 134 125–147 (1981)
  5. Дж. Мейндл «Элементы микроэлектронных схем» УФН 127 297–317 (1979)
  6. В.С. Вавилов «Полупроводники в современном мире» УФН 165 591–594 (1995)
  7. Э.М. Базелян, Ю.П. Райзер «Механизм притяжения молнии и проблема лазерного управления молнией» УФН 170 753–769 (2000)
  8. В.И. Балыкин, В.С. Летохов, В.Г. Миногин «Охлаждение атомов давлением лазерного излучения» УФН 147 117–156 (1985)
  9. П. Флёри «Фазовые переходы, критические явления и неустойчивости» УФН 138 129–145 (1982)
  10. Д. Эттвуд, К. Холбак, К.-Дж. Ким «Перестраиваемое когерентное рентгеновское излучение» УФН 159 125–142 (1989)
  11. В.Б. Шикин «Электронный кристалл на поверхности жидкого гелия» УФН 158 127–133 (1989)
  12. И.Л. Розенталь «Космические объекты и элементарные частицы» УФН 121 319–329 (1977)
  13. А.А. Лушников, А.Е. Негин и др. «Аэрогельные структуры в газе» УФН 161 (2) 113–123 (1991)
  14. А.В. Недоспасов «Физика МГД-генераторов» УФН 123 333–348 (1977)
  15. В.П. Чечев, Я.М. Крамаровский «Трансактиниевые элементы в эволюционирующей Вселенной» УФН 116 687–708 (1975)
  16. М. Нагатомо, С. Сасаки и др. «Работы Института космических исследований Японии в области космической энергетики» УФН 164 631–641 (1994)
  17. У. Ланге «Манометры для измерения сверхвысокого вакуума» УФН 111 158–172 (1973)
  18. В.А. Аветисов, В.И. Гольданский «Физические аспекты нарушения зеркальной симметрии биоорганического мира» УФН 166 873–891 (1996)
  19. Р. Поуэлл «Наиболее важные достижения в изучении теплопроводности металлов» УФН 105 329–351 (1971)
  20. Д.А. Киржниц «Эстремальные состояния вещества (сверхвысокие давления и температуры)» УФН 104 489–508 (1971)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение