Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники

Ю.В. Гуляев^а, В.Б. Сандомирский, А.А. Суханов, Ю.Я. Ткач
^аИнститут радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Микроэлектроника — область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для переработки и передачи информации.

Текст pdf (1,5 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121

PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/
Цитата: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я "Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники" УФН 144 475–495 (1984)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники
AU Гуляев, Ю. В.
AU Сандомирский, В. Б.
AU Суханов, А. А.
AU Ткач, Ю. Я.
PB Успехи физических наук
PY 1984
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 144
IS 11
SP 475-495
UR https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0144.198411e.0475

English citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya “Physical limitations on miniaturization in microelectronics” Sov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984); DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121