Техника ионной имплантации

Рецензия на книгу:
Ion Implantation Techniques/Ed. by H. Ryssel, H. Glavischnig.— Berlin; New York: Springer-Verlag, 1982.— 366 p.— (Springer Series in Electrophysics. V.10).

Текст pdf (207 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
Цитата: Вавилов В С "Техника ионной имплантации" УФН 140 737–738 (1983)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Tekhnika ionnoi implantatsii
AU Вавилов, В. С.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1983
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 140
IS 8
SP 737-738
UR https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0140.198308l.0737