Техника ионной имплантации

Рецензия на книгу:
Ion Implantation Techniques/Ed. by H. Ryssel, H. Glavischnig.— Berlin; New York: Springer-Verlag, 1982.— 366 p.— (Springer Series in Electrophysics. V.10).

Текст pdf (207 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
Цитата: Вавилов В С "Техника ионной имплантации" УФН 140 737–738 (1983)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Техника ионной имплантации
AU Вавилов, В. С.
PB Успехи физических наук
PY 1983
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 140
IS 8
SP 737-738
UR https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0140.198308l.0737