Техника ионной имплантации

Рецензия на книгу:
Ion Implantation Techniques/Ed. by H. Ryssel, H. Glavischnig.— Berlin; New York: Springer-Verlag, 1982.— 366 p.— (Springer Series in Electrophysics. V.10).

Текст pdf (207 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
Цитата: Вавилов В С "Техника ионной имплантации" УФН 140 737–738 (1983)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Vavilov:1983,
	author = {В. С. Вавилов},
	title = {Техника ионной имплантации},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1983},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {140},
	number = {8},
	pages = {737-738},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/},
	doi = {10.3367/UFNr.0140.198308l.0737}
}