Техника ионной имплантации

Рецензия на книгу:
Ion Implantation Techniques/Ed. by H. Ryssel, H. Glavischnig.— Berlin; New York: Springer-Verlag, 1982.— 366 p.— (Springer Series in Electrophysics. V.10).

Текст pdf (207 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
Цитата: Вавилов В С "Техника ионной имплантации" УФН 140 737–738 (1983)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

Русский

English

PT Journal Article
TI Техника ионной имплантации
AU Вавилов В С
FAU Вавилов ВС
DP 10 Aug, 1983
TA Усп. физ. наук
VI 140
IP 8
PG 737-738
RX 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
URL https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
SO Усп. физ. наук 1983 Aug 10;140(8):737-738