Выпуски

 / 

1969

 / 

Декабрь

  

Обзоры актуальных проблем


Растровая электронная микроскопия

Растровый электронный микроскоп (РЭМ)— прибор, позволяющий без особой предварительной подготовки исследовать объекты с произвольной геометрией и с разрешением на порядок лучше, чем у оптического микроскопа.В основу его работы положен телевизионный принцип развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца. В результате взаимодйствия луча с веществом в каждой точке поверхности объекта вызывается ряд физических явлений, которые регистируются соответствующими датчиками, а сигнал от них после усиления модулирует локальную яркость кинескопа, развертка которого синхронна со смещением первичного пучка. Таким образом,каждый элемент поверхности объекта находится во взаимно однозначном соответствии с яркостью определенного места на экране.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 07.78.+s, 68.37.Hk, 78.60.Hk, 61.72.Ff, 87.64.Ee (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
Цитата: Спивак Г В, Сапарин Г В, Быков М В "Растровая электронная микроскопия" УФН 99 635–672 (1969)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Spivak G V, Saparin G V, Bykov M V “Scanning electron microscopySov. Phys. Usp. 12 756–776 (1970); DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971

Статьи, ссылающиеся на эту (9) Похожие статьи (14) ↓

  1. Б.К. Вайнштейн «Электронная микроскопия атомного разрешения» 152 75–122 (1987)
  2. Б.К. Вайнштейн «Трехмерная электронная микроскопия биологических макромолекул» 109 455–497 (1973)
  3. В.И. Петров, Г.В. Спивак, О.П. Павлюченко «Электронная микроскопия магнитных структур массивных объектов» 102 529–548 (1970)
  4. В.И. Петров, Г.В. Спивак, О.П. Павлюченко «Электронная микроскопия магнитной структуры тонких пленок» 106 229–278 (1972)
  5. Р.Ф. Васильев «Хемилюминесценция в растворах» 89 409–436 (1966)
  6. Л.Г. Орлов, М.П. Усиков, Л.М. Утевский «Наблюдение дислокаций в металлах с помощью электронного микроскопа» 76 109–152 (1962)
  7. Д.М. Васильев, Б.И. Смирнов «Некоторые рентгенографические методы изучения пластически деформированных металлов» 73 503–558 (1961)
  8. Е.Ю. Кокориш, Н.Н. Шефталь «Дислокации в полупроводниковых кристаллах» 72 479–494 (1960)
  9. Б.М. Смирнов «Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе» 181 713–745 (2011)
  10. А.А. Ищенко, С.А. Асеев и др. «Сверхбыстрая электронная дифракция и электронная микроскопия: современное состояние и перспективы» 184 681–722 (2014)
  11. Э.В. Суворов, И.А. Смирнова «Дифракционное изображение дефектов в рентгеновской топографии (рентгеновской микроскопии)» 185 897–915 (2015)
  12. В.И. Карась, В.И. Соколенко «Неравновесная кинетика электрон-фононной подсистемы кристалла при действии переменных электрических и магнитных полей как основа электро- и магнитопластического эффектов» 188 1155–1177 (2018)
  13. С.А. Асеев, А.С. Ахманов и др. «Структурная динамика свободных молекул и конденсированного вещества» 190 113–136 (2020)
  14. Г.В. Спивак «Новые представления о развитии газового разряда» 11 726–746 (1931)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение