Выпуски

 / 

1969

 / 

декабрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Растровая электронная микроскопия

Растровый электронный микроскоп (РЭМ)— прибор, позволяющий без особой предварительной подготовки исследовать объекты с произвольной геометрией и с разрешением на порядок лучше, чем у оптического микроскопа.В основу его работы положен телевизионный принцип развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца. В результате взаимодйствия луча с веществом в каждой точке поверхности объекта вызывается ряд физических явлений, которые регистируются соответствующими датчиками, а сигнал от них после усиления модулирует локальную яркость кинескопа, развертка которого синхронна со смещением первичного пучка. Таким образом,каждый элемент поверхности объекта находится во взаимно однозначном соответствии с яркостью определенного места на экране.

Текст pdf (6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971
PACS: 07.78.+s, 68.37.Hk, 78.60.Hk, 61.72.Ff, 87.64.Ee (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
Цитата: Спивак Г В, Сапарин Г В, Быков М В "Растровая электронная микроскопия" УФН 99 635–672 (1969)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Spivak G V, Saparin G V, Bykov M V “Scanning electron microscopy” Sov. Phys. Usp. 12 756–776 (1970); DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971

Статьи, ссылающиеся на эту (11) Похожие статьи (20) ↓

  1. А.А. Ищенко, С.А. Асеев и др. «Сверхбыстрая электронная дифракция и электронная микроскопия: современное состояние и перспективы» УФН 184 681–722 (2014)
  2. Б.К. Вайнштейн «Трехмерная электронная микроскопия биологических макромолекул» УФН 109 455–497 (1973)
  3. В.И. Петров, Г.В. Спивак, О.П. Павлюченко «Электронная микроскопия магнитной структуры тонких пленок» УФН 106 229–278 (1972)
  4. Б.К. Вайнштейн «Электронная микроскопия атомного разрешения» УФН 152 75–122 (1987)
  5. В.И. Петров, Г.В. Спивак, О.П. Павлюченко «Электронная микроскопия магнитных структур массивных объектов» УФН 102 529–548 (1970)
  6. Л.Г. Орлов, М.П. Усиков, Л.М. Утевский «Наблюдение дислокаций в металлах с помощью электронного микроскопа» УФН 76 109–152 (1962)
  7. Э.В. Суворов, И.А. Смирнова «Дифракционное изображение дефектов в рентгеновской топографии (рентгеновской микроскопии)» УФН 185 897–915 (2015)
  8. В.И. Карась, В.И. Соколенко «Неравновесная кинетика электрон-фононной подсистемы кристалла при действии переменных электрических и магнитных полей как основа электро- и магнитопластического эффектов» УФН 188 1155–1177 (2018)
  9. С.А. Асеев, А.С. Ахманов и др. «Структурная динамика свободных молекул и конденсированного вещества» УФН 190 113–136 (2020)
  10. С.А. Асеев, Б.Н. Миронов и др. «Структурная динамика тонкоплёночных материалов: достижения, проблемы, перспективы» УФН 195 681–694 (2025)
  11. Р.Ф. Васильев «Хемилюминесценция в растворах» УФН 89 409–436 (1966)
  12. Д.М. Васильев, Б.И. Смирнов «Некоторые рентгенографические методы изучения пластически деформированных металлов» УФН 73 503–558 (1961)
  13. Е.Ю. Кокориш, Н.Н. Шефталь «Дислокации в полупроводниковых кристаллах» УФН 72 479–494 (1960)
  14. М.В. Гомоюнова «Электронная спектроскопия поверхности твердого тела» УФН 136 105–148 (1982)
  15. Б.М. Смирнов «Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе» УФН 181 713–745 (2011)
  16. А.М. Бродский, М.И. Урбах «Влияние микроскопической структуры поверхностей металлов на их оптические свойства» УФН 138 413–453 (1982)
  17. С.В. Вонсовский «Вопросы современной квантовой теории электронных проводников» УФН 48 289–388 (1952)
  18. Е. Брюхе «Электронная оптика. II. Обзор экспериментальной электронной оптики и ее применений» УФН 17 477–484 (1937)
  19. Р.З. Бахтизин, Ч.-Ж. Щуе и др. «Сканирующая туннельная микроскопия гетероэпитаксиального роста пленок III-нитридов» УФН 174 383–405 (2004)
  20. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа» УФН 176 913–930 (2006)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение