Выпуски

 / 

1969

 / 

Декабрь

  

Обзоры актуальных проблем


Растровая электронная микроскопия

Растровый электронный микроскоп (РЭМ)— прибор, позволяющий без особой предварительной подготовки исследовать объекты с произвольной геометрией и с разрешением на порядок лучше, чем у оптического микроскопа.В основу его работы положен телевизионный принцип развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца. В результате взаимодйствия луча с веществом в каждой точке поверхности объекта вызывается ряд физических явлений, которые регистируются соответствующими датчиками, а сигнал от них после усиления модулирует локальную яркость кинескопа, развертка которого синхронна со смещением первичного пучка. Таким образом,каждый элемент поверхности объекта находится во взаимно однозначном соответствии с яркостью определенного места на экране.

Текст pdf (6 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971
PACS: 07.78.+s, 68.37.Hk, 78.60.Hk, 61.72.Ff, 87.64.Ee (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
Цитата: Спивак Г В, Сапарин Г В, Быков М В "Растровая электронная микроскопия" УФН 99 635–672 (1969)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Spivak G V, Saparin G V, Bykov M V “Scanning electron microscopySov. Phys. Usp. 12 756–776 (1970); DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971

Статьи, ссылающиеся на эту (11) ↓ Похожие статьи (15)

  1. Aseev S A, Mironov B N et al Успехи физических наук 195 (07) 681 (2025) [Aseev S A, Mironov B N et al Phys. Usp. 68 (07) 641 (2025)]
  2. Aseyev S, Ryabov E et al Crystals 10 (6) 452 (2020)
  3. Aseyev S A, Ryabov E A Phys.-Usp. 62 (3) 289 (2019)
  4. Zigah D, Lojou E, de Poulpiquet A ChemElectroChem 6 (22) 5524 (2019)
  5. Zabalueva Z A, Nepomnyashchaya E K, Korikov C C J. Phys.: Conf. Ser. 1124 051039 (2018)
  6. De Middeleer G, Dubruel P, De Saeger S TrAC Trends in Analytical Chemistry 76 71 (2016)
  7. Matsibora N P, Rakviashvili R N, Nosov M P Fibre Chem 21 (6) 474 (1990)
  8. Maximovsky S N, Revocatova I P et al Rev. Phys. Appl. (Paris) 12 (2) 161 (1977)
  9. Gritsayenko G S, Sidorenko A V et al International Geology Review 16 (12) 1333 (1974)
  10. Gvosdover R S, Karpova I V et al Phys. Stat. Sol. (a) 5 (1) 65 (1971)
  11. Liebl H International Journal of Mass Spectrometry and Ion Physics 6 (5-6) 401 (1971)

© Успехи физических наук, 1918–2025
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение