Выпуски

 / 

1969

 / 

Декабрь

  

Обзоры актуальных проблем


Растровая электронная микроскопия

Растровый электронный микроскоп (РЭМ)— прибор, позволяющий без особой предварительной подготовки исследовать объекты с произвольной геометрией и с разрешением на порядок лучше, чем у оптического микроскопа.В основу его работы положен телевизионный принцип развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца. В результате взаимодйствия луча с веществом в каждой точке поверхности объекта вызывается ряд физических явлений, которые регистируются соответствующими датчиками, а сигнал от них после усиления модулирует локальную яркость кинескопа, развертка которого синхронна со смещением первичного пучка. Таким образом,каждый элемент поверхности объекта находится во взаимно однозначном соответствии с яркостью определенного места на экране.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 07.78.+s, 68.37.Hk, 78.60.Hk, 61.72.Ff, 87.64.Ee (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
Цитата: Спивак Г В, Сапарин Г В, Быков М В "Растровая электронная микроскопия" УФН 99 635–672 (1969)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Растровая электронная микроскопия
A1 Спивак,Г.В.
A1 Сапарин,Г.В.
A1 Быков,М.В.
PB Успехи физических наук
PY 1969
FD 10 Dec, 1969
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 99
IS 12
SP 635-672
DO 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
LK https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/

English citation: Spivak G V, Saparin G V, Bykov M V “Scanning electron microscopySov. Phys. Usp. 12 756–776 (1970); DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение