Выпуски

 / 

1969

 / 

Декабрь

  

Обзоры актуальных проблем


Растровая электронная микроскопия

Растровый электронный микроскоп (РЭМ)— прибор, позволяющий без особой предварительной подготовки исследовать объекты с произвольной геометрией и с разрешением на порядок лучше, чем у оптического микроскопа.В основу его работы положен телевизионный принцип развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца. В результате взаимодйствия луча с веществом в каждой точке поверхности объекта вызывается ряд физических явлений, которые регистируются соответствующими датчиками, а сигнал от них после усиления модулирует локальную яркость кинескопа, развертка которого синхронна со смещением первичного пучка. Таким образом,каждый элемент поверхности объекта находится во взаимно однозначном соответствии с яркостью определенного места на экране.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 07.78.+s, 68.37.Hk, 78.60.Hk, 61.72.Ff, 87.64.Ee (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0099.196912d.0635
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1969/12/d/
Цитата: Спивак Г В, Сапарин Г В, Быков М В "Растровая электронная микроскопия" УФН 99 635–672 (1969)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Spivak G V, Saparin G V, Bykov M V “Scanning electron microscopySov. Phys. Usp. 12 756–776 (1970); DOI: 10.1070/PU1970v012n06ABEH003971

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение