Используя вторичные электроны, образованные рентгеновскими лучами попадающими на исследуемое изделие, можно получать замечательныекартины, рисующие структуру объекта. Различают два метода подобной съёмки: просвечивание вторичными электронами исследуемого объекта в фиксация картины, создаваемой отражёнными вторичными электронами. Полученные картины, похожие несколько на микрофотографии, называют микрорадиограммами.
Этому методу исследования поверхности изделия или строения достаточно прозрачного объекта — около 8 лет. За это время была получена уверенность в целесообразности его применения для весьма большого числа случаев. числа случаев.