RSS feeds
РусскийEnglish
Issue 9, 2026
Volume year page
Issues Authors PACS Subscription For authors

Issues

 / 

1986

 / 

April

←  →

New instruments and methods of research


Local cathodoluminescence and its capabilities for the study of band structure in solids

,  a,
a Lomonosov Moscow State University, Vorobevy Gory, Moscow, 119991, Russian Federation

A review of the applications of the scanning electron microscope cathodoluminescent mode is given. Particular attention is devoted to the kind of information that can be obtained by modifying the method in different ways, the problems of spatial resolution and the formation of image contrasts. Results obtained for GaAs, GaP and other optoelectronic materials show the advantages of the local cathodoluminescence method in determining local values of electrophysical parameters in multilayer epitaxial structures, distribution of optically active impurities, etc. These features make the method uniquely useful for the growth of optoelectronic structures with prescribed properties.

Fulltext pdf (780 KB)
Fulltext is also available at DOI: 10.1070/PU1986v029n04ABEH003310
PACS: 78.60.Hk, 71.20.Nr, 68.55.Ln, 73.50.−h (all)
DOI: 10.1070/PU1986v029n04ABEH003310
URL: https://ufn.ru/en/articles/1986/4/d/
Citation: Spivak G V, Petrov V I, Antoshin M K "Local cathodoluminescence and its capabilities for the study of band structure in solids" Sov. Phys. Usp. 29 364–380 (1986)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Оригинал: Спивак Г В, Петров В И, Антошин М К «Локальная катодолюминесценция и ее возможности для исследования зонной структуры твердых тел» УФН 148 689–717 (1986); DOI: 10.3367/UFNr.0148.198604e.0689

References (157) ↓ Cited by (12) Similar articles (6)

  1. ’i’?стр’?’?’?ya э’?’?’?тр’?’?’?’?ya ’?’?’?р’?с’?’?’?’?ya ’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? ’?’?’?р’?’?’?’?’?’?’? Т. 1 (’a.: ’a’?р, 1984) с. 303; ’i’?стр’?’?’?ya э’?’?’?тр’?’?’?’?ya ’?’?’?р’?с’?’?’?’?ya ’? р’?’?т’?’?’?’?’?с’?’?’? ’?’?’?р’?’?’?’?’?’?’? Т. 2 (’a.: ’a’?р, 1984) с. 348
  2. ’F’?р’?’?’?’?с’?’?’? ’v ’E ’? ’?р. Dokl. Akad. Nauk SSSR 225 667 (1975)
  3. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’E’?ст’?. ’a’I’p ’G’?’?’?. ’z’?ch’?’?’?’?’?. 3 81 (1973)
  4. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’E’?ст’?. ’a’I’p. ’I’?’?’?. 6 44 (1973)
  5. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’E’?ст’?. ’a’I’p. ’I’?’?’?. 6 48 (1973)
  6. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F ’? ’?р. ’’у’?’?ы’? ’?ру’?т ’?’? ’a’?рya ’R’?’?’?’?’?’?ya (’a.: ’v’?у’?’?, 1974) с. 529
  7. Remond G J. Lumin. 15 121 (1977)
  8. Pease R F W, Hayes T L Nature 210 1049 (1966)
  9. Bröcker W, Pfefferkorn G SEM (Scanning Electron Microscopy) 1979 Vol. 2 (AMF O’Hare, Il.: SEM Inc., 1979) p. 125
  10. Hollenberg M, Erickson J, Allan M J. Histochem. Cytochem. 21 109 (1973)
  11. ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E, ’l’?у’?’? ’E ’R, ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’R’?’? ’B’v ’l’l’l’i. ’l’?р. ф’?’?. 40 2402 (1976); Saparin G V, Sluev V I, Spivak G V Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 40 (11) 100 (1976)
  12. Hörl E M, Mügschl E "Electron. Microscopy" Proc. of 5th European Congress of Electron Microscopy (Manchester, 1972) p. 502
  13. Holm R SEM/1975 (Chicago, Il.: IITRI, 1975) p. 433
  14. Fuchert R, Selzer H "Microscopie electronique" Proc. of 7th Inter. Congress of Electron Microscopy Vol. 1 (Grenoble, 1970) p. 631
  15. Pfefferkorn G SEM/1975 (Chicago, Il.: IITRI, 1975) p. 631
  16. Pfefferkorn G, Brocker W, Hastenrath M SEM. 1980/1 Vol. 1 (AMF O’Hare, Il.: SEM, Inc., 1980) p. 251; Holt D B, Datta S SEM. 1980/1 Vol. 1 (AMF O’Hare, Il.: SEM, Inc., 1980) p. 259; SEM 1982/1. Vol. 1 (AMF O’Hare, Il: SEM, Inc., 1982) p. 157; ’l’?’?’?’?’? ’I ’E, ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E, ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F Usp. Fiz. Nauk 113 695 (1974); Spivak G V, Saparin G V, Antoshin M K Sov. Phys. Usp. 17 593 (1975)
  17. Brocker W, Pfefferkorn G SEM 1978/1 Vol. 1 (AMF O’Hare, Il.: SEM, Inc., 1978) p. 333; Brocker W, Pfefferkorn G SEM. 1980/1 Vol. 1 (AMF O’Hare, Il.: SEM, Inc., 1980) p. 298; ’I’?у’?’?ст’?’?’? ’Kzh, Ya’?’?’?’?ts Kh (’i’?’?.) ’zр’?’?т’?ch’?с’?’?ya р’?стр’?’?’?ya э’?’?’?тр’?’?’?’?ya ’?’?’?р’?с’?’?’?’?ya (’a.: ’a’?р, 1978) с. 624
  18. ’M’?’?ф’?’?’?’? ’a ’l, ’G’?’?р’?’?’? ’M ’B, ’I’?’?’?’?’? ’I ’v Fiz. Tekh. Poluprovodn. 9 1529 (1975); Epifanov M S, Bobrova E A, Galkin G N Sov. Phys. Semicond. 9 1008 (1975); ’E’?’?’?’?’?’? ’E ’l, ’I’?’?’?’?’? ’I ’v, ’M’?’?ф’?’?’?’? ’a ’l ’’’?т’?’?. ф’?’?. с’?. 21 (4) 57 (1981)
  19. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’z’?сь’?’? Zh’e’n’s 21 38 (1975)
  20. Cusano D A Solid State Commun. 2 353 (1964)
  21. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’a’?’?р’?э’?’?’?тр’?’?’?’?’? 6 64 (1977); Spivak G V et al. Sov. Microelect. 6 47 (1977)
  22. ’p’?’?’?с’?’?’? ’E ’M ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 16 1496 (1982); Umanskii V E et al. Sov. Phys. Semicond. 16 1955 (1982)
  23. Llopis J, Piqueras J, Bru L J. Mater. Sci. 13 1361 (1978); Ballesteros C, Llopis J, Piqueras J Electron Microscopy, 1982. Proc. of 10th Intern. Congress of Electron Microscopy Vol. 1 (Hamburg, 1982) p. 273
  24. ’B’?chур’?’? ’a Sh, ’I’?’?стya’? ’E ’I Dokl. Akad. Nauk SSSR 252 870 (1980); Akchurin M Sh, Galstyan V G Sov. Phys. Dokl. 25 411 (1980); ’B’?chур’?’? ’a Sh, ’I’?’?стya’? ’E ’I Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 44 2134 (1980); Akchurin M Sh, Galstyan V G Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 44 (10) 119 (1980); ’B’?chур’?’? ’a Sh ’? ’?р. ’z’?’?’?рkh’?’?сть 3 119 (1983)
  25. ’G’?сс’?’?’?’? ’E ’v ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 15 694 (1981); Bessolov V N et al. Sov. Phys. Semicond. 15 395 (1981)
  26. ’B’?ф’?р’?’? Zh ’R ’s’?’?’?’?’? с’?’?’?’?’?ya ’? ’?’?’?тр’? (’i’?’?. ’E ’a ’nуch’?’?’?’?ch) (’’.: ’v’?у’?’?, 1973) с. 61; Sh’?р’?’? ’G ’’, ’zур’?kh’?т ’i ’F ’z’?’?у’?р’?’?’?’?’?’?’?’?’?ы’? ’?’?т’?р’?’?’?р’?kh’?’?ы (’a.: ’l’?’?. р’?’?’?’?, 1979); ’a’?’?с ’B, ’s’?’?khт ’K ’I’?т’?р’?’?’?р’?kh’?’?ы ’? ’?’?р’?kh’?’?ы ’?’?т’?’?’? - ’?’?’?у’?р’?’?’?’?’?’?’? (’a.: ’a’?р, 1975)
  27. Jones G A C, Nag B R, Gopinath A SEM 1973 (Chicago, Il.: IITRI, 1973) p. 309; Jones G A C, Nag B R, Gopinath A J. Phys. D 7 183 (1974)
  28. Oelgart G, Stegmann R, John L Phys. Status Solidi A 59 27 (1980)
  29. Wright D R et al. J. Phys. D 6 1622 (1973)
  30. Williams P M, Yoffe A D Nature 221 952 (1969)
  31. ’G’?рс’?’?’?’? ’I ’z ’?р. ’Eс. ’a’I’p ’I’?’?’?. 6 40 (1973)
  32. Velednitskaja M A et al. Phys. Status Solidi A 32 123 (1975)
  33. Rau E I, Sasov A Yu, Spivak G V Scanning 3 242 (1980); ’l’?’?’?’?’? ’I ’E, ’i’?у ’M ’R, ’l’?с’?’? ’B Yu Usp. Fiz. Nauk 139 165 (1983); Spivak G V, Rau E I, Sasov A Yu Sov. Phys. Usp. 26 84 (1983)
  34. ’I’?’?у’?’?’? Yu ’B ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 40 2334 (1976); Golubev Yu A et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 40 (11) 38 (1976)
  35. ’l’?у’?’? ’E ’R, ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E, ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’E’?ст’?. ’a’I’p ’s’?’?. ’Bстр’?’?. 17 486 (1976)
  36. Antoshin M S, Spivak G V, Yunovich A E Microscopie electronique. Proc. of 7th Inter. Congress of Electron Microscopy Vol. 1 (Grenoble, 1970) p. 251
  37. Lebiedzik J, White E W, Bhalla R I Rev. Sci. Instrum. 45 451 (1974)
  38. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 36 1954 (1972); Antoshin M K et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 36 1727 (1972)
  39. Boulou M, Bois D J. Appl. Phys. 48 4713 (1977)
  40. Steckenborn A J. Microsc. 118 297 (1980)
  41. ’d’?ы’?’?’? ’l ’F, ’z’?’?’?’? ’l ’R, ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E ’z’?’?’?рkh’?’?сть 11 97 (1982)
  42. ’F’?’?’?’?’?’? ’d ’? ’?р. ’I’?’?’?. ру’?’?. ’?’?ст’?р’?zh’?’?’?’?’? 1 111 (1976)
  43. ’d’?ы’?’?’? ’l ’F ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 44 1142 (1980); Obyden S K et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 44 (6) 14 (1980)
  44. Obyden K, Saparin G V, Spivak G V Scanning 3 181 (1980)
  45. ’l’?у’?’? ’E ’R, ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E, ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’i’?’?’?’?т’?kh. э’?’?’?тр’?’?. 21 312 (1976); Sluev V I, Saparin G V, Spivak G V Radio Eng. Electron. 21 75 (1976)
  46. Saparin G V, Spivak G V SEM (Scanning Electron Microscopy) 1979 Vol. 2 (AMF O’Hare, Il.: SEM Inc., 1979) p. 267
  47. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 939 (1977); Antoshin M K et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 41 (5) 86 (1977)
  48. Bhalla R I, White E W J. Appl. Phys. 41 2267 (1970); Bhalla R I, White E W J. Electrochem. Soc. 119 740 (1972); Bhalla R I J. Appl. Phys. 45 3703 (1974)
  49. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E, ’s’?’?’?’?’?’?’? ’a ’v, ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 876 (1977); Spivak G V, Filippov M N, Antoshin M K Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 41 (5) 29 (1977)
  50. Kiplawi I, Lang A R Philos. Mag. 30 219 (1974)
  51. ’I’?’?’?’?ьф’?р’? ’s ’B ’? ’?р. ’O’?’?’?’?с’?’?ya ’?’?’?’?р’?т’?р’?ya 7 881 (1972)
  52. Chin A K SEM 1982/1. Vol. 3 (AMF O’Hare, Il: SEM, Inc., 1982) p. 1069
  53. Petrov V I, Prokhorov V A Electron Microscopy, 1984. Proc. 8th European Congress of Electron Microscopy Vol. 2 (Budapest, 1984) p. 417
  54. Cocito M, Gorgellino F, Troia A Electron Microscopy, 1982. Proc. of 10th Intern. Congress of Electron Microscopy Vol. 2 (Hamburg, 1982) p. 417
  55. Bond E F, Beresford D, Haggis G H J. Microsc. 100 271 (1974)
  56. Lohnert K, Hastenrath M, Kubalek E SEM (Scanning Electron Microscopy) 1979 Vol. 1 (AMF O’Hare, Il.: SEM Inc., 1979) p. 229
  57. Hastenrath M et al. J. Microsc. 118 303 (1979)
  58. Davidson S M et al. Institute of Physics Conference Ser. Vol. 61 (London: The Institute of Physics, 1982) p. 191
  59. Wittry D B, Kyser D F J. Appl. Phys. 35 2439 (1964)
  60. Casey H C, Kaiser R H J. Electrochem. Soc. 114 149 (1967)
  61. ’I’?’?’?’?’?’?’?р ’i ’l ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 44 2145 (1980); Gvozdover R S et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 44 (10) 128 (1980)
  62. ’I’?’?’?’?ьф’?р’? ’s ’B ’? ’?р. ’R’?’?. ’B’v ’l’l’l’i. ’v’?’?р’?’?’?’?ch’?с’?’?’? ’?’?т’?р’?’?’?ы 11 1516 (1975)
  63. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F ’? ’?р. ’F’?’?’?т. э’?’?’?тр’?’?. 2 1969 (1975); Antoshin M K et al. Sov. J. Quantum Electron. 5 1069 (1975)
  64. Balk L J, Kubalek E, Menzel E SEM/1976 (Chicago, Il.: IITRI, 1976) p. 257
  65. Esquivel A L, Sen S, Lin W N J. Appl. Phys. 47 2588 (1976)
  66. ’I’?’?’?р’?’?’? ’B ’E, ’F’?’?’?с’?’?’? ’’ ’R Fiz. Tekh. Poluprovodn. 12 448 (1978); Govorkov A V, Kolesnik L I Sov. Phys. Semicond. 12 259 (1978)
  67. ’Gру’? ’B ’l ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 16 1510 (1982); Bruk A S et al. Sov. Phys. Semicond. 16 966 (1982)
  68. Shaw D A, Thornton P R J. Mater. Sci. 3 507 (1968)
  69. Chase B D, Holt D B Phys. Status Solidi A 19 467 (1973)
  70. ’d’?у’?’?’? ’E ’K, ’O’?kh’?р’?’? ’G ’I, ’I’?’?’?’? ’E ’R ’i’?’?’?’?т’?kh. э’?’?’?тр’?’?. 18 2133 (1973); Okunev V D, Zakharov B G, Gaman V I Radio Eng. Electron. 18 1571 (1973)
  71. Holt D B, Chase B D, Censlive M Phys. Status Solidi A 20 459 (1973)
  72. Wittry D B, Kyser D F J. Appl. Phys. 38 375 (1967)
  73. Rao-Sahib T S, Wittry D B J. Appl. Phys. 40 3745 (1969)
  74. ’dр’?’?’?т ’B ’G Prib. Tekh. Eksp. 2 199 (1976); Ormont A B Instrum. Exp. Tech. 19 548 (1976)
  75. ’I’?’?’?’?’?’?’?р ’i ’l ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 48 2378 (1984); Gvosdover R S et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 48 83 (1984)
  76. Hergert W, Pasemann L Phys. Status Solidi A 85 641 (1984)
  77. ’I’?’?’?’?ьф’?р’? ’s ’B, ’I’?’?’?р’?’?’? ’B ’E, ’s’?сту’? ’E ’R Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 38 1409 (1974); Gimel’farb F A, Govorkov A V, Fistul V I Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 38 (7) 43 (1974)
  78. ’I’?’?’?’?ьф’?р’? ’s ’B ’? ’?р. Kristallogr. 19 1115 (1974); Gimel’farb F A et al. Sov. Phys. Crystallogr. 19 692 (1974)
  79. Balk L J, Kubalek E, Menzel E SEM/1975 (Chicago, Il.: IITRI, 1975) p. 447
  80. ’Gрzh’?’?’?’?с’?’?’? ’E ’B ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 991 (1977); Brzhezinskii V A et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 41 (5) 131 (1977)
  81. Hackett W H et al. J. Appl. Phys. 43 2857 (1972)
  82. ’I’?’?у’?’?’? Yu ’B ’? ’?р. ’e’?’?’?тр’?’?. т’?kh’?. ’l’?р. 2 (6) 51 (1979)
  83. Casey H C, Jauson J S J. Appl. Phys. 42 2774 (1971)
  84. Yu. A. Golubev Yu A et al. Electron Microscopy 1978. Proc. 9th Intern. Congress of Electron Microscopy Vol. 1 (Toronto, 1978) p. 142
  85. ’G’?р’?’?’?’?’? ’e Yu ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 13 478 (1979); Barinova E Yu et al. Sov. Phys. Semicond. 13 282 (1979)
  86. ’Gрzh’?’?’?’?с’?’?’? ’E ’B, ’I’?’?у’?’?’? Yu ’B, ’z’?тр’?’? ’E ’R Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 2319 (1977); Brzhezinskii V A, Golubev Yu A, Petrov V I Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 41 (11) 76 (1977)
  87. Michel C J. Electrochem. Soc. 122 678 (1975)
  88. Hayes T J, Rasul A, Davidson S M J. Electron. Mater. 5 351 (1976)
  89. Titchmarsh J M et al. J. Mater. Sci. 12 341 (1977)
  90. Darby D B, Booker G R J. Mater. Sci. 12 1827 (1977)
  91. Menniger H et al. Phys. Status Solidi A 48 407 (1978)
  92. Davidson S M, Iqbal G R, Northrop D C Phys. Status Solidi A 29 571 (1975)
  93. Rasul A, Davidson S M Institute of Physics Conference Ser. Vol. 33A (London: The Institute of Physics, 1982) p. 306
  94. S. M. Davidson and A. Rasul SEM 1977/1. Vol. V. 1 (Chicago, Il.: IITRI, 1977) p. 225
  95. Dimitriadis C A, Huang E, Davidson S M Solid-State Electron. 21 1419 (1978)
  96. Boulou M, Schiller C J. Microsc. Spectrosc. Electr. 6 39 (1981)
  97. Lohnert K, Kubalek E Electron Microscopy, 1982. Proc. of 10th Intern. Congress of Electron Microscopy Vol. 2 (Hamburg, 1982) p. 419
  98. ’d’?ьkh’?’?’?’?’?’?’? ’n ’R ’? ’?р. Fiz. Tverd. Tela 16 2813 (1974); Ol’khovikova T I et al. Sov. Phys. Solid State 16 1831 (1974)
  99. Stringfellow G B, Cass T R, Burmeister R A J. Electron. Mater. 6 295 (1977)
  100. Oelgart G et al. Phys. Status Solidi A 71 89 (1982)
  101. ’a’?’?’?’?’?’? ’B Yu ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 13 1617 (1979); Malinin A Yu et al. Sov. Phys. Semicond. 13 941 (1979)
  102. ’z’?тр’?’? ’E ’R ’? ’?р. ’e’?’?’?тр’?’?. т’?kh’?. ’l’?р. 2 (4) 27 (1978)
  103. ’B’?’?р’?’?’? Yu ’z ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 46 2394 (1982); Andreev Yu P et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 46 (12) 118 (1982)
  104. Dobrynina E S, Melnikova V N, Petrov V I Electron Microscopy, 1982. Proc. of 10th Intern. Congress of Electron Microscopy Vol. 2 (Hamburg, 1982) p. 415
  105. Stringfellow G B, Kerps D Solid-State Electron. 18 1019 (1975)
  106. Dobrynina E S, Petrov V I Electron Microscopy-1980. Proc. 7th European Congress of Electron Microscopy Vol. 3 (The Haague, 1980) p. 12
  107. Hafner H, Morawetz H, Oelgart G Phys. Status Solidi A 63 495 (1981)
  108. Dobrynina E S, Petrov V I Electron Microscopy-1984:XS Proc. 8th European Congress of Electron Microscopy Vol. 2 (Budapest, 1984) p. 993; ’K’?’?ры’?’?’?’? ’M ’l, ’z’?тр’?’? ’E ’R Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 48 2366 (1984); Dobrynina E S, Petrov V I Bull. Acad. Sci. USSR. Phys. Ser. 48 (12) 71 (1984)
  109. ’E’?стр’?’?’? ’B ’z, ’K’?’?ры’?’?’?’? ’M ’l, ’z’?тр’?’? ’E ’R Fiz. Tekh. Poluprovodn. 18 275 (1984); Vostrova A P, Dobrynina E S, Petrov V I Sov. Phys. Semicond. 18 170 (1984)
  110. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F, ’l’?’?’?’?’? ’I ’E, Yu’?’?’?’?ch ’B ’M Fiz. Tekh. Poluprovodn. 6 2123 (1984); Antoshin M K, Spivak G V, Yunovich A E Sov. Phys. Semicond. 6 1803 (1973)
  111. Marciniak H C, Wittry D B J. Appl. Phys. 46 4823 (1975)
  112. ’B’?’?р’?’?’? Yu ’z ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 15 26 (1981); Andreev Yu P et al. Sov. Phys. Semicond. 15 15 (1981)
  113. Stegmann R, Kloth B, Oelgart G Phys. Status Solidi A 70 423 (1982)
  114. ’E’?’?’?’?р’?’?’?ch ’M ’v, ’’у’?’?ch’?’? ’B ’E, ’E’?’?’?’?’?’? ’B ’z ’e’?’?’?тр’?’?. т’?kh’?. ’l’?р. ’a’?т’?р’?’?’?ы (12) 89 (1977)
  115. ’E’?’?’?’?’?’? ’B ’z ’? ’?р. ’e’?’?’?тр’?’?. т’?kh’?. ’l’?р. ’a’?т’?р’?’?’?ы 5 49 (1978)
  116. Voigt G et al. Phys. Status Solidi A 36 173 (1976)
  117. Raidt H et al. Phys. Status Solidi A 43 167 (1977)
  118. ’G’?сс’?’?’?’? ’E ’’ ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 16 738 (1982); Bessolov V N et al. Sov. Phys. Semicond. 16 476 (1982)
  119. ’E’?’?’?’?’?’?’?’?’? ’a ’’ ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 13 1851 (1979); Vodovozova M L et al. Sov. Phys. Semicond. 13 1077 (1979)
  120. Pankove J I, Levin E R J. Appl. Phys. 46 1847 (1975)
  121. ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’E’?ст’?. ’a’I’p. ’l’?р. ’s’?’?’?’?’?, ’?стр’?’?’?’?’?ya (3) 106 (1984)
  122. ’l’?’?’?р’?’? ’I ’E ’? ’?р. ’z’?’?’?рkh’?’?сть 5 106 (1984)
  123. ’z’?р’?’?’?с’?’?’? ’I ’B ’? ’?р. ’E’?ст’?. ’a’I’p. ’l’?р. ’s’?’?’?’?’?, ’?стр’?’?’?’?’?ya (3) 21 (1984)
  124. Saparin G V et al. Microelectron. Eng. 1 179 (1983)
  125. ’I’?’?стya’? ’E ’I ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 44 1235 (1980); Galstyan V G et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 44 (6) 91 (1980)
  126. ’Fу’?’?’?ts’?’? ’B ’E ’? ’?р. Mikroelektronika 11 343 (1982); Kuznetsov A V et al. Sov. Microelectronics 11 214 (1982)
  127. Bernard R, Davoine F, Pinard P Optics 9 129 (1960)
  128. Korda E J, Pruden J H, Williams J R Appl. Phys. Lett. 10 205 (1967)
  129. ’Fр’?kh’?’?’? ’B ’R, ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F, ’l’?’?’?’?’? ’I ’E Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 36 1915 (1972); Krokhina A I, Antoshin M K, Spivak G V Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 36 1692 (1972)
  130. Muir M D et al. SEM 1971 (Chicago, II: IITRI, 1971) p. 401
  131. Holt D B J. Mater. Sci. 5 546 (1970)
  132. Semo J Rev. Phys. Appl. 9 355 (1974)
  133. ’I’?’?стya’? ’E ’I ’? ’?р. Kristallogr. 25 829 (1980); Galstyan V G et al. Sov. Phys. Crystallogr. 25 475 (1980)
  134. Aven M et al. J. Appl. Phys. 43 4136 (1972)
  135. Williams P M, Yoffe A D Philos. Mag. 18 555 (1968); Williams P M, Yoffe A D Radiat. Eff. 1 61 (1969)
  136. Yoffe A D, Howlett K J SEM 1973 (Chicago, Il.: IITRI, 1973) p. 301
  137. Oda S et al. J. Lumin. 16 379 (1978)
  138. Akagi K, Kukimoto H, Nakayama T J. Lumin. 17 237 (1978)
  139. Datta S, Yacoby B G, Holt D B J. Mater. Sci. 12 2411 (1977)
  140. Datta S et al. SEM. 1980/1 Vol. 1 (AMF O’Hare, Il.: SEM, Inc., 1980) p. 279
  141. Lohnert K, Kubalek E Beitr. Elektronenmikroskop. Direktab. Oberfl. 14 147 (1981)
  142. Norris C B, Barnes C E, Boezhold W J. Appl. Phys. 44 3209 (1973)
  143. Komolova L F, Efremenkova V M, Saparin G V Phys. Status Solidi A 35 K5 (1976)
  144. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 933 (1977); Spivak G V et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 41 (5) 81 (1977)
  145. Bröcker W, Riemer L Scanning 1 60 (1978)
  146. Brummer O, Schreiber J Krist. Tech. 7 683 (1972), 9, 817 (1974); Brummer O, Schreiber J Krist. Tech. 9 817 (1974); Brummer O, Schreiber J Ann. Physik 28 105 (1972)
  147. ’F’?’?’?’?’?’?’? ’’ ’s ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 880 (1977); Komolova L F et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 41 (5) 37 (1977)
  148. ’G’?р’?’?’?ch ’’ ’v ’? ’?р. ’F’?’?’?т. э’?’?’?тр’?’?. 4 58 (1977); Borovich L N et al. Sov. J. Quantum Electron. 7 30 (1977)
  149. ’I’?sh’?’? ’z ’B ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 40 2005 (1976); Gashin P A et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 40 (9) 202 (1976)
  150. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 44 1290 (1980); Antoshin M K et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 44 (6) 138 (1980)
  151. ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 2 1791 (1968); Spivak G V et al. Sov. Phys. Semicond. 2 1492 (1969); ’l’?’?’?’?’? ’I ’E ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 34 1422 (1970); Spivak G V et al. Bull. Acad. Sci. USSR, Phys. Ser. 34 1327 (1970)
  152. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F, ’M’?’?ф’?’?’?’?’? ’’ ’E, ’l’?’?’?’?’? ’I ’E Fiz. Tekh. Poluprovodn. 12 706 (1978); Antoshin M K, Epifanova L V, Spivak G V Sov. Phys. Semicond. 12 411 (1978)
  153. ’I’?’?’?р’?’?’? ’B ’E, ’Kруzh’?’?’?’?’? ’’ ’E Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 41 987 (1977); Govorkov A V, Druzhinina L V Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 41 (5) 128 (1977)
  154. ’z’?тр’?’? ’E ’R ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 48 1739 (1984); Petrov V I et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 48 89 (1984)
  155. ’z’?тр’?’? ’E ’R ’? ’?р. Izv. Akad. Nauk SSSR. Fiz. 48 2404 (1984); Petrov V I et al. Bull. Acad. Sci. USSR Phys. Ser. 48 107 (1984)
  156. ’B’?т’?sh’?’? ’a ’F ’? ’?р. Fiz. Tekh. Poluprovodn. 12 1188 (1978); Antoshin M K et al. Sov. Phys. Semicond. 12 705 (1978)
  157. ’z’?тр’?’? ’E ’R, ’zр’?kh’?р’?’? ’E ’B, Yu’?’?’?’?ch ’B ’M Fiz. Tekh. Poluprovodn. 18 484 (1984); Petrov V I, Prokhorov V A, Yunovich A E Sov. Phys. Semicond. 18 300 (1984)
© 1918–2026 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: ufn@ufn.ru Editorial office contacts About the journal Terms and conditions