Выпуски

 / 

1983

 / 

Январь

  

Методические заметки


Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии

В статье описывается система цветокодирования изображений для качественного и количественного анализа информации в растровом электронном микроскопе. В основу метода положено преобразование «интенсивность-цвет», когда определенному параметру или свойству объекта ставится в соответствие определенный цвет. Квантование видеосигнала по цветному спектру осуществлено в режимах вторичной электронной эмиссии, отраженных электронов анализ объекта на элементный состав, потенциального контраста и наведенного тока при исследовании полупроводниковых структур. Экспериментально проиллюстрированы возможности цветокодирования видеосигнала при экспресс-анализе качества изделий микроэлектроники и при определении локального распределения химических элементов в исследуемых материалах. Илл. 8, библиогр. ссылок 11.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 07.80.+x
DOI: 10.3367/UFNr.0139.198301f.0165
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/1/f/
Цитата: Спивак Г В, Рау Э И, Сасов А Ю "Цветокодированное отображение информации в растровой электронной микроскопии" УФН 139 165–168 (1983)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Spivak G V, Rau E I, Sasov A Yu “Color-coded display of information in scanning electron microscopySov. Phys. Usp. 26 84–86 (1983); DOI: 10.1070/PU1983v026n01ABEH004309

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение