Выпуски

 / 

1988

 / 

Ноябрь

  

Обзоры актуальных проблем


Неупругое распыление твердых тел ионами

,  а, ,
а Институт ядерного синтеза Российского научного центра «Курчатовский институт», пл. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Обзор теоретических и экспериментальных работ по распылению в результате сильного возбуждения электронной подсистемы твердых тел быстрыми и многозарядньми ионами. Систематизированы основные закономерности, установленные в экспериментах по неупругому распылению. Рассматриваются зависимости коэффициента неупругого распыления от энергии и заряда налетающих ионов, от структуры мишени, а также дифференциальные характеристики распыленных частиц. Обсуждаются теоретические работы, посвященные описанию области возбуждения электронов, ee релаксации, передачи энергии электронов атомам мишени и моделям неупругого распыления. Кратко изложена история вопроса, возможные практические применения неупругого распыления и его связь с другими явлениями. Табл. 1. Ил. 19. Библиогр. ссылок 107.

Текст pdf (994 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646
PACS: 68.49.Sf
DOI: 10.3367/UFNr.0156.198811c.0477
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1988/11/c/
Цитата: Баранов И А, Мартыненко Ю В, Цепелевич С О, Явлинский Ю Н "Неупругое распыление твердых тел ионами" УФН 156 477–511 (1988)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Baranov I A, Martynenko Yu V, Tsepelevich S O, Yavlinskii Yu N “Inelastic sputtering of solids by ionsSov. Phys. Usp. 31 1015–1034 (1988); DOI: 10.1070/PU1988v031n11ABEH005646

Список литературы (106) Статьи, ссылающиеся на эту (113) Похожие статьи (20) ↓

  1. Ф.Ф. Комаров «Дефектообразование и трекообразование в твердых телах при облучении ионами сверхвысоких энергий» 173 1287–1318 (2003)
  2. А.М. Митерев «Теоретические представления о формировании и эволюции треков заряженных частиц» 172 1131–1164 (2002)
  3. Ф.Ф. Комаров «Нано- и микроструктурирование твёрдых тел быстрыми тяжёлыми ионами» 187 465–504 (2017)
  4. А.П. Жернов, А.В. Инюшкин «Кинетические коэффициенты в кристаллах с изотопическим беспорядком» 172 573–599 (2002)
  5. Р.И. Гарбер, А.И. Федоренко «Фокусировка атомных столкновений в кристаллах» 83 385–432 (1964)
  6. И.Ю. Толстихина, В.П. Шевелько «Влияние атомных процессов на зарядовые состояния и фракции быстрых тяжёлых ионов при прохождении через газовые, твердотельные и плазменные мишени» 188 267–300 (2018)
  7. Л.М. Лямшев «Радиационная акустика» 162 (4) 43–94 (1992)
  8. П.Ю. Бабенко, А.Н. Зиновьев, А.П. Шергин «О торможении и рассеянии в веществе атомов с энергиями порядка килоэлектронвольт», принята к публикации
  9. Я.М. Фогель «Вторичная ионная эмиссия» 91 75–112 (1967)
  10. В.Е. Погорелов, А.И. Лизенгевич и др. «Колебательная релаксация в конденсированных средах» 127 683–704 (1979)
  11. В.Л. Гинзбург, В.А. Догель «Некоторые проблемы гамма-астрономии» 158 3–58 (1989)
  12. И.Т. Якубов «Электропроводность неидеальной плазмы» 163 (5) 35–51 (1993)
  13. Б.А. Надыкто «Полуэмпирическая модель расчета энергий состояний многоэлектронных атомов и ионов» 163 (9) 37–74 (1993)
  14. Ю.Ф. Быдин, Ю.Н. Демков «Спектры электронов при медленных столкновениях отрицательных ионов и атомов» 137 377–414 (1982)
  15. К.Н. Мухин, О.О. Патаракин «Дельта-изобара в ядрах (обзор экспериментальных данных)» 165 841–886 (1995)
  16. Г.В. Дедков «Межатомные потенциалы взаимодействия в радиационной физике» 165 919–953 (1995)
  17. М.И. Гусева, Ю.В. Мартыненко «Радиационный блистеринг» 135 671–691 (1981)
  18. С.В. Дмитриев, Е.А. Корзникова и др. «Дискретные бризеры в кристаллах» 186 471–488 (2016)
  19. В.С. Вавилов «Миграция атомов в полупроводниках и изменения числа и структуры дефектов, инициируемые возбуждением электронной подсистемы» 167 407–412 (1997)
  20. Б.О. Кербиков, Л.А. Кондратюк, М.Г. Сапожников «Адронная физика на пучках антипротонов низких энергий» 159 3–43 (1989)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение