Химические способы получения высокого вакуума

Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10⁻¹¹ тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник ’Vceco Instruments Inc.’ в Саннивейл, Калифорния (США).

Текст pdf (690 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0111.197309f.0150
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН 111 150–157 (1973)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Tom:1973,
	author = {Т. Том},
	title = {Химические способы получения высокого вакуума},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1973},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {111},
	number = {9},
	pages = {150-157},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/},
	doi = {10.3367/UFNr.0111.197309f.0150}
}