Объединяя магниторазрядные и геттерные насосы и переводя в вакуумной камере газ в твердую фазу, можно легко получать высокий вакуум порядка 10−11 тор.
Theodor Tom, Pumping by Chemical Means, Phys. Today 25(8), 32 (1972). Перевод Н. И. Гинзбург. Теодор Том — сотрудник ’Vceco Instruments Inc.’ в Саннивейл, Калифорния
(США).
DOI:10.3367/UFNr.0111.197309f.0150 URL: https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/ Цитата: Том Т "Химические способы получения высокого вакуума" УФН111 150–157 (1973)
%0 Journal Article
%T Химические способы получения высокого вакуума
%A Т. Том
%I Успехи физических наук
%D 1973
%J Усп. физ. наук
%V 111
%N 9
%P 150-157
%U https://ufn.ru/ru/articles/1973/9/f/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.0111.197309f.0150