Настоящий обзор преследует цель дать представление о современном состоянии вопроса о катодном распылении как с точки зрения установленных к настоящему времени экспериментальных данных, так и природы этого явления. Результаты более старых исследований, более подробное изложение некоторых экспериментальных данных, техники к. р. и т. д. можно найти в обзорах, которые по этому вопросу были опубликованы в прошлом. При этом экспериментальные исследования к. р. можно разделить на две группы: исследования, произведённые с быстрыми ионами, ставившие своей целью изучение основных закономерностей этого явления, и исследования, произведённые с медленными ионами, вблизи так называемого критического потенциала распыления v₀, ставившие своей целью изучение условий, при которых это явление, вообще, может возникнуть; поэтому эти два случая следует рассмотреть отдельно.

Поправки к статье см. ’Поправки к статье Н. Д. Моргулис КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ’ (Успехи физических наук, т. 31, вып. 2, стр. 288, 1947.)

TY JOUR
TI Катодное распыление
AU Моргулис, Н. Д.
PB Успехи физических наук
PY 1946
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 28
IS 2
SP 202-224
UR https://ufn.ru/ru/articles/1946/2/c/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0028.194602c.0202