Выпуски

 / 

1946

 / 

Февраль

  

Обзоры актуальных проблем


Катодное распыление

Настоящий обзор преследует цель дать представление о современном состоянии вопроса о катодном распылении как с точки зрения установленных к настоящему времени экспериментальных данных, так и природы этого явления. Результаты более старых исследований, более подробное изложение некоторых экспериментальных данных, техники к. р. и т. д. можно найти в обзорах, которые по этому вопросу были опубликованы в прошлом. При этом экспериментальные исследования к. р. можно разделить на две группы: исследования, произведённые с быстрыми ионами, ставившие своей целью изучение основных закономерностей этого явления, и исследования, произведённые с медленными ионами, вблизи так называемого критического потенциала распыления v0, ставившие своей целью изучение условий, при которых это явление, вообще, может возникнуть; поэтому эти два случая следует рассмотреть отдельно.

Поправки к статье см. ’Поправки к статье Н. Д. Моргулис КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ’ (Успехи физических наук, т. 31, вып. 2, стр. 288, 1947.)

Текст pdf (1,2 Мб)
DOI: 10.3367/UFNr.0028.194602c.0202
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1946/2/c/
Цитата: Моргулис Н Д "Катодное распыление" УФН 28 202–224 (1946)
BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
TY JOUR
TI Katodnoe raspylenie
AU Моргулис, Н. Д.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1946
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 28
IS 2
SP 202-224
UR https://ufn.ru/ru/articles/1946/2/c/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0028.194602c.0202
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение