RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2025
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Cтатьи, принятые к публикации
Приборы и методы исследований


Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий

 а, б, в,  г,  г
а Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
б Zhuhai Tsinghua University Research Institute Innovation Center, Zhuhai, China
в Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Campus da Caparica, Caparica, 2829-516, Portugal
г Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Политехническая ул. 26, Санкт-Петербург, 194021, Российская Федерация

Представлен обзор физических процессов, лежащих в основе метода обратно рассеянных ионов инертных газов (LEIS/СОРИНЭ) в диапазоне низких энергий (0.5—5 кэВ), и аппаратной реализации этого метода. Обсуждаются особенности диагностики поверхности методом LEIS/СОРИНЭ, включая расшифровку энергетических спектров, количественный элементный анализ и возможности изучения структуры поверхности, потенциала взаимодействия "частица-поверхность" и наличия кластеров в твердых растворах. Представлены программные коды для компьютерного моделирования процессов взаимодействия ионов с поверхностью. Показаны преимущества энерго-масс анализа рассеянных ионов, рассмотрено применение ионного рассеяния в современных ионных микроскопах, обсуждается рассеяние ионов инертных газов в диапазоне гипертермальных энергий. Дан обзор основных областей применения LEIS/СОРИНЭ для анализа поверхности и приповерхностных слоев различных материалов и приборов, оценены перспективы дальнейшего развития метода обратно рассеянных ионов низких энергий.

Ключевые слова: диагностика поверхности, ионное рассеяние, нейтрализация, распыление, быстрые ионизованные атомы отдачи, энерго-масс анализ, гипертермальные энергии, ионные микроскопы
DOI: 10.3367/UFNr.2025.09.040043
Цитата: Толстогузов А Б, Бабенко П Ю, Зиновьев А Н "Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий" УФН, принята к публикации

Поступила: 13 января 2025, доработана: 23 сентября 2025, 24 сентября 2025

English citation: Tolstoguzov A B, Babenko P Yu, Zinov’ev A N “Surface analysis by low energy ion scattering spectroscopy” Phys. Usp., accepted; DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043

Похожие статьи (8) ↓

  1. А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов и др. «Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач» УФН 192 722–753 (2022)
  2. А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» УФН 182 287–321 (2012)
  3. П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» УФН 190 1293–1333 (2020)
  4. В.Г. Дудников «Поверхностно-плазменный метод получения пучков отрицательных ионов» УФН 189 1315–1351 (2019)
  5. А.Е. Дубинов, Л.А. Мытарева «Маскировка материальных тел методом волнового обтекания» УФН 180 475–501 (2010)
  6. Г.А. Гусев, Б.Н. Ломоносов и др. «Ледяные спутники планет Солнечной системы и орбитальные радиодетекторы для регистрации частиц ультравысоких энергий» УФН 180 957–964 (2010)
  7. А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Н.А. Дюжев «Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности» УФН 192 754–771 (2022)
  8. И.Р. Набиев, Р.Г. Ефремов, Г.Д. Чуманов «Гигантское комбинационное рассеяние и его применение к изучению биологических молекул» УФН 154 459–496 (1988)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2025
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение