В обзоре рассмотрены как бинарные системы (слои), так и многокомпонентные слои с различной толщиной бислоя от микронного до единиц нанометров. Обнаружена сильная зависимость формирования микроструктуры от условий осаждения: величины приложенного потенциала на подложку, потока инертного и реактивного газов, мощности ионного пучка (плотности тока) подаваемых на мишень. Сформированы общие закономерности в изменении функциональных свойств, и структурного состояния. Отмечены условия образования столбчатой структуры, текстуры роста, а также предложены различительные механизмы и их интерпретация. Показана связь размера нанозерен и диффузии на межфазной границе и эффектов определяющими физико-механические, трибологические характеристики, а также стойкость к коррозии и оксидированию.