Рассмотрены бинарные системы (слои) и многокомпонентные слои с различной толщиной бислоя — от микрометров до единиц нанометров. Обнаружена сильная зависимость формирования микроструктуры от условий осаждения: величины приложенного к подложке потенциала, потока инертного и реактивного газов, мощности ионного пучка (плотности тока), подаваемого на мишень. Сформированы общие закономерности в изменении функциональных свойств и структурного состояния покрытий. Отмечены условия образования столбчатой структуры, текстуры роста, а также предложены различные механизмы и их интерпретация. Показана связь размера нанозёрен и диффузии на межфазной границе с эффектами, определяющими физико-механические, трибологические характеристики, а также стойкость к коррозии и оксидированию.

Ключевые слова: многослойные покрытия, нанокомпозиты, структура, твёрдость, износ, коррозия PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g, 68.35.Gy (все) DOI: 10.3367/UFNr.2020.08.038823 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2021/3/b/ 000656123500002 2-s2.0-85108011249 2021PhyU...64..253P Цитата: Погребняк А Д, Лисовенко М А, Турлыбекулы А, Буранич В В "Защитные покрытия с наноразмерной многослойной архитектурой: современное состояние и перспективы" УФН 191 262–291 (2021) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 23 января 2020, доработана: 13 июля 2020, одобрена в печать: 19 августа 2020 English citation: Pogrebnyak A D, Lisovenko M A, Turlybekuly A, Buranich V V “Protective coatings with nanoscale multilayer architecture: current state and main trends” Phys. Usp. 64 253–279 (2021); DOI: 10.3367/UFNe.2020.08.038823