Рассмотрены бинарные системы (слои) и многокомпонентные слои с различной толщиной бислоя — от микрометров до единиц нанометров. Обнаружена сильная зависимость формирования микроструктуры от условий осаждения: величины приложенного к подложке потенциала, потока инертного и реактивного газов, мощности ионного пучка (плотности тока), подаваемого на мишень. Сформированы общие закономерности в изменении функциональных свойств и структурного состояния покрытий. Отмечены условия образования столбчатой структуры, текстуры роста, а также предложены различные механизмы и их интерпретация. Показана связь размера нанозёрен и диффузии на межфазной границе с эффектами, определяющими физико-механические, трибологические характеристики, а также стойкость к коррозии и оксидированию.

Ключевые слова: многослойные покрытия, нанокомпозиты, структура, твёрдость, износ, коррозия PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g, 68.35.Gy (все) DOI: 10.3367/UFNr.2020.08.038823 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2021/3/b/ 000656123500002 2-s2.0-85108011249 2021PhyU...64..253P Цитата: Погребняк А Д, Лисовенко М А, Турлыбекулы А, Буранич В В "Защитные покрытия с наноразмерной многослойной архитектурой: современное состояние и перспективы" УФН 191 262–291 (2021) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Protective coatings with nanoscale multilayer architecture: current state and main trends A1 Pogrebnyak,A.D. A1 Lisovenko,M.A. A1 Turlybekuly,A. A1 Buranich,V.V. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2021 FD 10 Mar, 2021 JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JO Usp. Fiz. Nauk VO 191 IS 3 SP 262-291 DO 10.3367/UFNr.2020.08.038823 LK https://ufn.ru/ru/articles/2021/3/b/ Поступила: 23 января 2020, доработана: 13 июля 2020, одобрена в печать: 19 августа 2020 English citation: Pogrebnyak A D, Lisovenko M A, Turlybekuly A, Buranich V V “Protective coatings with nanoscale multilayer architecture: current state and main trends” Phys. Usp. 64 253–279 (2021); DOI: 10.3367/UFNe.2020.08.038823