Рассмотрены бинарные системы (слои) и многокомпонентные слои с различной толщиной бислоя — от микрометров до единиц нанометров. Обнаружена сильная зависимость формирования микроструктуры от условий осаждения: величины приложенного к подложке потенциала, потока инертного и реактивного газов, мощности ионного пучка (плотности тока), подаваемого на мишень. Сформированы общие закономерности в изменении функциональных свойств и структурного состояния покрытий. Отмечены условия образования столбчатой структуры, текстуры роста, а также предложены различные механизмы и их интерпретация. Показана связь размера нанозёрен и диффузии на межфазной границе с эффектами, определяющими физико-механические, трибологические характеристики, а также стойкость к коррозии и оксидированию.

Ключевые слова: многослойные покрытия, нанокомпозиты, структура, твёрдость, износ, коррозия PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g, 68.35.Gy (все) DOI: 10.3367/UFNr.2020.08.038823 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2021/3/b/ 000656123500002 2-s2.0-85108011249 2021PhyU...64..253P Цитата: Погребняк А Д, Лисовенко М А, Турлыбекулы А, Буранич В В "Защитные покрытия с наноразмерной многослойной архитектурой: современное состояние и перспективы" УФН 191 262–291 (2021) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Protective coatings with nanoscale multilayer architecture: current state and main trends AU Pogrebnyak, A. D. AU Lisovenko, M. A. AU Turlybekuly, A. AU Buranich, V. V. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2021 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 191 IS 3 SP 262-291 UR https://ufn.ru/ru/articles/2021/3/b/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2020.08.038823 Поступила: 23 января 2020, доработана: 13 июля 2020, одобрена в печать: 19 августа 2020 English citation: Pogrebnyak A D, Lisovenko M A, Turlybekuly A, Buranich V V “Protective coatings with nanoscale multilayer architecture: current state and main trends” Phys. Usp. 64 253–279 (2021); DOI: 10.3367/UFNe.2020.08.038823