Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.

Ключевые слова: 3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос PACS: 32.80.Rm, 42.82.Cr, 61.46.−w, 68.65.−k, 81.20.−n (все) DOI: 10.3367/UFNr.2017.11.038239 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/1/e/ 000462478600004 2-s2.0-85065653282 2019PhyU...62...54F Цитата: Фрицлер К Б, Принц В Я "Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур" УФН 189 55–71 (2019) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI 3D printing methods for micro- and nanostructures AU Fritzler, K. B. AU Prinz, V. Ya. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2019 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 189 IS 1 SP 55-71 UR https://ufn.ru/ru/articles/2019/1/e/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2017.11.038239 Поступила: 5 июня 2017, одобрена в печать: 10 ноября 2017 English citation: Fritzler K B, Prinz V Ya “3D printing methods for micro- and nanostructures” Phys. Usp. 62 54–69 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239