Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур

Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.

Текст pdf (5 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239

Ключевые слова: 3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос
PACS: 32.80.Rm, 42.82.Cr, 61.46.−w, 68.65.−k, 81.20.−n (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2017.11.038239
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/1/e/
Web of Science

000462478600004
Scopus

2-s2.0-85065653282
ADS NASA

2019PhyU...62...54F
Цитата: Фрицлер К Б, Принц В Я "Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур" УФН 189 55–71 (2019)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 5 июня 2017, одобрена в печать: 10 ноября 2017

English citation: Fritzler K B, Prinz V Ya “3D printing methods for micro- and nanostructures” Phys. Usp. 62 54–69 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239

Список литературы (231) Статьи, ссылающиеся на эту (29) ↓ Похожие статьи (12)

Ignatov A I, Merzlikin A M J. Opt. Soc. Am. B 41 A92 (2024)
Afshar-Mohajer M, Yang X et al Additive Manufacturing 62 103368 (2023)
Brachet A, Bełżek A et al Cells 12 859 (2023)
Kim W, Kim W et al Chemosensors 11 340 (2023)
Lin Yu, Yang R, Wu X RSC Appl. Polym. 1 132 (2023)
Liu H, Zhang Z et al Micromachines 14 1216 (2023)
Huang L, Hong Zh et al gxjzz 4 1 (2023)
Kong Zh, Wang X IJMS 24 891 (2023)
Prinz V Ya, Fritzler K B Adv Materials Technologies 8 (2) (2023)
Zosa M -A H, Gu Y J, Murakami M 120 (13) (2022)
De Pasquale G Micro 2 225 (2022)
Chesnitskiy A V, Gayduk A E et al Materials 15 7781 (2022)
Kawakita S, Mandal K et al Small 18 (39) (2022)
Jing X, Fu H et al Front. Bioeng. Biotechnol. 10 (2022)
Huang J, Wang G et al 34 (5) (2022)
Feng Ya, Liang M et al Front. Phys. 10 (2022)
Muldoon K, Song Ya et al Micromachines 13 642 (2022)
De Pasquale G Micromachines 12 1374 (2021)
Gardiner A, Daly P et al Micromachines 12 634 (2021)
Vorunichev D S, Vorunicheva K Yu Rossijskij tehnologičeskij žurnal 9 28 (2021)
Zhao Yu, Mei H et al ACS Nano 15 240 (2021)
Golod S V, Gayduk A E et al Nanotechnology 31 435302 (2020)
Annin B D, Baimova Yu A, Mulyukov R R J Appl Mech Tech Phy 61 834 (2020)
Fiedor P, Ortyl J Materials 13 2951 (2020)
Gordeev E G, Ananikov V P Russ. Chem. Rev. 89 1507 (2020)
Mensov S N, Abakumov G A et al J of Applied Polymer Sci 137 (34) (2020)
Seyfi V A, Gayduk A E, Prinz V Ya 2020 21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM), (2020) p. 64
Chen A, Qu C et al Front. Energy Res. 8 (2020)
Danescu A, Regreny P et al Mechanics and Physics of Solids at Micro‐ and Nano‐Scales 1 (2019) p. 215