Выпуски

 / 

2019

 / 

Январь

  

Приборы и методы исследований


Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.

Текст pdf (5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239
Ключевые слова: 3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос
PACS: 32.80.Rm, 42.82.Cr, 61.46.−w, 68.65.−k, 81.20.−n (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2017.11.038239
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/1/e/
000462478600004
2-s2.0-85065653282
2019PhyU...62...54F
Цитата: Фрицлер К Б, Принц В Я "Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур" УФН 189 55–71 (2019)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 5 июня 2017, 10 ноября 2017

English citation: Fritzler K B, Prinz V Ya “3D printing methods for micro- and nanostructuresPhys. Usp. 62 54–69 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239

Список литературы (231) Статьи, ссылающиеся на эту (39) ↓ Похожие статьи (12)

  1. Li M, Chen W et al Int. J. Extrem. Manuf. 8 (2) 022011 (2026)
  2. Vijay K M G, Saxena P Vinyl Additive Technology (2026)
  3. Kirkebæk B S, Ali A, Quist-Jensen C A Sci Rep 15 (1) (2025)
  4. Ivanov V V, Borisov V I et al Russ. J. Phys. Chem. 99 (12) 3114 (2025)
  5. Michalak M, Sover A Innovations in Industrial Engineering IV Lecture Notes in Mechanical Engineering Chapter 2 (2025) p. 13
  6. Kirkebæk B S, Artemeva M et al Journal of Membrane Science 735 124483 (2025)
  7. Li R, Gong Yu et al Advanced Materials 37 (2) (2025)
  8. Shi H, Ke Sh et al Sci Rep 16 (1) (2025)
  9. Kumi M, Kpomah B et al Supramolecular Materials 4 100100 (2025)
  10. Gardiner A, Domingo-Roca R et al Sci Rep 14 (1) (2024)
  11. Ignatov A I, Merzlikin A M J. Opt. Soc. Am. B 41 (2) A92 (2024)
  12. Kim W, Kim W et al Chemosensors 11 (6) 340 (2023)
  13. Lin Yu, Yang R, Wu X RSC Appl. Polym. 1 (2) 132 (2023)
  14. Huang L, Hong Zh et al gxjzz 4 (4) 1 (2023)
  15. Kong Zh, Wang X IJMS 24 (1) 891 (2023)
  16. Liu H, Zhang Z et al Micromachines 14 (6) 1216 (2023)
  17. Afshar-Mohajer M, Yang X et al Additive Manufacturing 62 103368 (2023)
  18. Brachet A, Bełżek A et al Cells 12 (6) 859 (2023)
  19. Prinz V Ya, Fritzler K B Adv Materials Technologies 8 (2) (2023)
  20. Huang J, Wang G et al Physics of Fluids 34 (5) (2022)
  21. Feng Ya, Liang M et al Front. Phys. 10 (2022)
  22. Jing X, Fu H et al Front. Bioeng. Biotechnol. 10 (2022)
  23. Kawakita S, Mandal K et al Small 18 (39) (2022)
  24. Chesnitskiy A V, Gayduk A E et al Materials 15 (21) 7781 (2022)
  25. Muldoon K, Song Ya et al Micromachines 13 (4) 642 (2022)
  26. Zosa M -A H, Gu Y J, Murakami M Applied Physics Letters 120 (13) (2022)
  27. De Pasquale G Micro 2 (2) 225 (2022)
  28. Gardiner A, Daly P et al Micromachines 12 (6) 634 (2021)
  29. Vorunichev D S, Vorunicheva K Yu Rossijskij tehnologičeskij žurnal 9 (4) 28 (2021)
  30. De Pasquale G Micromachines 12 (11) 1374 (2021)
  31. Zhao Yu, Mei H et al ACS Nano 15 (1) 240 (2021)
  32. Chen A, Qu C et al Front. Energy Res. 8 (2020)
  33. Seyfi V A, Gayduk A E, Prinz V Ya 2020 21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM), (2020) p. 64
  34. Mensov S N, Abakumov G A et al J of Applied Polymer Sci 137 (34) (2020)
  35. Gordeev E G, Ananikov V P Russ. Chem. Rev. 89 (12) 1507 (2020)
  36. Golod S V, Gayduk A E et al Nanotechnology 31 (43) 435302 (2020)
  37. Fiedor P, Ortyl J Materials 13 (13) 2951 (2020)
  38. Annin B D, Baimova Yu A, Mulyukov R R J Appl Mech Tech Phy 61 (5) 834 (2020)
  39. Danescu A, Regreny P et al Mechanics and Physics of Solids at Micro‐ and Nano‐Scales 1 (2019) p. 215

© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение