RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2019

 / 

январь

←  →

Приборы и методы исследований


Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур

,
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.

Текст pdf (5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239
Ключевые слова: 3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос
PACS: 32.80.Rm, 42.82.Cr, 61.46.−w, 68.65.−k, 81.20.−n (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2017.11.038239
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/1/e/
000462478600004
2-s2.0-85065653282
2019PhyU...62...54F
Цитата: Фрицлер К Б, Принц В Я "Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур" УФН 189 55–71 (2019)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 5 июня 2017, 10 ноября 2017

English citation: Fritzler K B, Prinz V Ya “3D printing methods for micro- and nanostructures” Phys. Usp. 62 54–69 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239

Список литературы (231) Статьи, ссылающиеся на эту (41) Похожие статьи (20) ↓

  1. Д.В. Казанцев, Е.А. Казанцева «Безапертурная ближнепольная микроскопия упругого рассеяния света» УФН 194 630–673 (2024)
  2. И.В. Антонова «Применение материалов на основе графенав 2D печатных технологиях» УФН 187 220–234 (2017)
  3. Я.С. Гринберг, Ю.А. Пашкин, Е.В. Ильичёв «Наномеханические резонаторы» УФН 182 407–436 (2012)
  4. В.И. Гвоздев, Г.А. Кузаев и др. «Физические основы моделирования объемных интегральных схем СВЧ и КВЧ» УФН 162 (3) 129–160 (1992)
  5. Ю.С. Нечаев, Е.А. Денисов и др. «Методика термодесорбционного изучения состояний водорода в углеродных материалах и наноматериалах» УФН 193 994–1000 (2023)
  6. Ю.В. Богомолов, В.В. Алексеев и др. «Обзор методов обратной свёртки» УФН 193 669–685 (2023)
  7. В.Л. Вакс, Е.Г. Домрачева и др. «Анализ выдыхаемого воздуха: физические методы, приборы и медицинская диагностика» УФН 184 739–758 (2014)
  8. А.К. Кавеев, Г.И. Кропотов «Физические принципы фильтрации и устройство фильтров терагерцового излучения» УФН 196 182–204 (2026)
  9. Ж.-П. Риволь «Электроядерная установка для уничтожения ядерных отходов» УФН 173 747–755 (2003)
  10. П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» УФН 190 1293–1333 (2020)
  11. М.А. Проскурнин, В.Р. Хабибуллин и др. «Фототермическая и оптоакустическая спектроскопия: современное состояние и перспективы» УФН 192 294–340 (2022)
  12. Б.А. Гурович, Д.И. Долгий и др. «Управляемая трансформация электрических, магнитных и оптических свойств материалов ионными пучками» УФН 171 105–117 (2001)
  13. В.С. Гречишкин, Н.Я. Синявский «Новые физические технологии: обнаружение взрывчатых и наркотических веществ методом ядерного квадрупольного резонанса» УФН 167 413–427 (1997)
  14. В.В. Лидер «Рентгеновская флуоресцентная визуализация» УФН 188 1081–1102 (2018)
  15. А.К. Ребров «Возможности газофазного синтеза алмазных структур» УФН 187 193–200 (2017)
  16. В.В. Лидер «Рентгеновская микроскопия» УФН 187 201–219 (2017)
  17. А.Д. Погребняк, А.А. Багдасарян и др. «Многокомпонентные нанокомпозитные покрытия с адаптивным поведением в поверхностной инженерии» УФН 187 629–652 (2017)
  18. В.Н. Очкин «Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы» УФН 192 1145–1178 (2022)
  19. И.Ю. Ерёмчев, Д.В. Прокопова и др. «Трёхмерная флуоресцентная наноскопия одиночных квантовых излучателей на основе оптики спиральных пучков света» УФН 192 663–673 (2022)
  20. С.А. Пшеничнюк, Н.Л. Асфандиаров и др. «Современное состояние и перспективы спектроскопии диссоциативного захвата электронов» УФН 192 177–204 (2022)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение