Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.

Ключевые слова: 3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос PACS: 32.80.Rm, 42.82.Cr, 61.46.−w, 68.65.−k, 81.20.−n (все) DOI: 10.3367/UFNr.2017.11.038239 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2019/1/e/ 000462478600004 2-s2.0-85065653282 2019PhyU...62...54F Цитата: Фрицлер К Б, Принц В Я "Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур" УФН 189 55–71 (2019) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 5 июня 2017, одобрена в печать: 10 ноября 2017 English citation: Fritzler K B, Prinz V Ya “3D printing methods for micro- and nanostructures” Phys. Usp. 62 54–69 (2019); DOI: 10.3367/UFNe.2017.11.038239