Обсуждаются различные подходы к формированию нанокомпозитных покрытий с высокой и сверхвысокой твёрдостью в диапазоне от $\le 30$ до 100 — 120 ГПа. Основное внимание уделяется анализу механизмов увеличения твёрдости в тонких ($\le 10$ мкм) покрытиях. Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно-стимулированного и вакуумно-дугового осаждения. Даётся классификация твёрдых и сверхтвёрдых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий и некоторые перспективы дальнейшего развития этого направления.

PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200901b.0035 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/1/b/ 000266708800002 2-s2.0-67849118716 2009PhyU...52...29P Цитата: Погребняк А Д, Шпак А П, Азаренков Н А, Береснев В М "Структура и свойства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозитных покрытий" УФН 179 35–64 (2009) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Structures and properties of hard and superhard nanocomposite coatings AU Pogrebnjak, A. D. AU Shpak, A. P. AU Azarenkov, N. A. AU Beresnev, V. M. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2009 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 179 IS 1 SP 35-64 UR https://ufn.ru/ru/articles/2009/1/b/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200901b.0035 English citation: Pogrebnjak A D, Shpak A P, Azarenkov N A, Beresnev V M “Structures and properties of hard and superhard nanocomposite coatings” Phys. Usp. 52 29–54 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200901b.0035