Обсуждаются различные подходы к формированию нанокомпозитных покрытий с высокой и сверхвысокой твёрдостью в диапазоне от $\le 30$ до 100 — 120 ГПа. Основное внимание уделяется анализу механизмов увеличения твёрдости в тонких ($\le 10$ мкм) покрытиях. Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно-стимулированного и вакуумно-дугового осаждения. Даётся классификация твёрдых и сверхтвёрдых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий и некоторые перспективы дальнейшего развития этого направления.

PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200901b.0035 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/1/b/ 000266708800002 2-s2.0-67849118716 2009PhyU...52...29P Цитата: Погребняк А Д, Шпак А П, Азаренков Н А, Береснев В М "Структура и свойства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозитных покрытий" УФН 179 35–64 (2009) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Структура и свойства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозитных покрытий A1 Погребняк,А.Д. A1 Шпак,А.П. A1 Азаренков,Н.А. A1 Береснев,В.М. PB Успехи физических наук PY 2009 FD 10 Jan, 2009 JF Успехи физических наук JO Усп. физ. наук VO 179 IS 1 SP 35-64 DO 10.3367/UFNr.0179.200901b.0035 LK https://ufn.ru/ru/articles/2009/1/b/ English citation: Pogrebnjak A D, Shpak A P, Azarenkov N A, Beresnev V M “Structures and properties of hard and superhard nanocomposite coatings” Phys. Usp. 52 29–54 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200901b.0035