RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2009

 / 

Январь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Структура и свойства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозитных покрытий

 а,  а,  б,  б
а Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина
б Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, пл.Свободы 4, Харьков, 61077, Украина

Обсуждаются различные подходы к формированию нанокомпозитных покрытий с высокой и сверхвысокой твёрдостью в диапазоне от $\le 30$ до 100 — 120 ГПа. Основное внимание уделяется анализу механизмов увеличения твёрдости в тонких ($\le 10$ мкм) покрытиях. Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно-стимулированного и вакуумно-дугового осаждения. Даётся классификация твёрдых и сверхтвёрдых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий и некоторые перспективы дальнейшего развития этого направления.

Текст pdf (1 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200901b.0035
PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200901b.0035
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/1/b/
000266708800002
2-s2.0-67849118716
2009PhyU...52...29P
Цитата: Погребняк А Д, Шпак А П, Азаренков Н А, Береснев В М "Структура и свойства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозитных покрытий" УФН 179 35–64 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Pogrebnjak A D, Shpak A P, Azarenkov N A, Beresnev V M “Structures and properties of hard and superhard nanocomposite coatings” Phys. Usp. 52 29–54 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200901b.0035

Список литературы (205) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (176) Похожие статьи (20)

  1. Gleiter H Acta Mater. 48 1 (2000)
  2. Скороход В В, Рагуля А В, а сб. в сб. Прогресивнi матерiали i технологii Т. 2 (К.: Академперiодика, 2003) с. 7
  3. Андриевский Р А, Глезер А М ФММ 88 (1) 50 (1999); Andrievski R A, Glezer A M Phys. Met. Metallogr. 88 45 (1999)
  4. Cavalerto A, Dc Hosson J Th (Eds) Nanostructured Coatings (New York: Springer, 2006)
  5. Mayrhofer P H et al. Prog. Mater. Sci. 51 1032 (2006)
  6. Андриевский Р А Усп. химии 74 1163 (2005); Andrievski R A Russ. Chem. Rev. 74 1061 (2005)
  7. Левашов Е А, Штанский Д В Усп. химии 76 501 (2007); Levashov E A, Shtansky D V Russ. Chem. Rev. 76 463 (2007)
  8. Voevodin A A et al. (Eds) Nanostructured Thin Films and Nanodispersion Strengthened Coatings (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 2004)
  9. Решетняк Е Н, Стрельницкий В Е "Синтез наноструктурных пленок: достижения и перспективы" Харьковская нанотехнологическая ассамблея. Сборник докладов Т. 1 (Под ред. И М Неклюдова, А П Шпака, В М Шулаева) (Харьков, 2007) с. 6
  10. Штанский Д В и др. ФТТ 47 242 (2005); Shtansky D V et al. Phys. Solid State 47 252 (2005)
  11. Кирюханцев-Корнеев Ф В и др. ФММ 97 (3) 96 (2004); Kiryukhantsev-Korneev F V et al. Phys. Met. Metallogr. 97 314 (2004)
  12. Shtansky D V et al. J. Mater. Synth. Process 6 61 (1998)
  13. Береснев В М и др. Физическая инженерия поверхности 5 (1/2) 4 (2007)
  14. Береснев В М и др. Вiсник Харкiвського унiверситету Ядра, частинки, поля (2(34)) 93 (2007)
  15. Погребняк А Д, Тюрин Ю Н УФН 175 515 (2005); Pogrebnyak A D, Tyurin Yu N Phys. Usp. 48 487 (2005)
  16. Бойко В И, Валяев А Н, Погребняк А Д УФН 169 1243 (1999); Boiko V I, Valyaev A N, Pogrebnyak A D Phys. Usp. 42 1139 (1999)
  17. Кадыржанов К К и др. Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов (М.: Изд-во МГУ, 2005)
  18. Азаренков Н А, Береснев В М, Погребняк А Д Структура и свойства защитных покрытий и модифицированных слоев материалов (Харьков: Харьковский национальный университет, 2007)
  19. Veprek S et al. Thin Solid Films 476 1 (2005)
  20. Gleiter H Prog. Mater. Sci. 33 223 (1989)
  21. Yip S Nature 391 532 (1998)
  22. Musil J, Vlček J Mater. Chem. Phys. 54 116 (1998)
  23. Vepřek S J. Vac. Sci. Technol. A 17 2401 (1999)
  24. Musil J Surf. Coat. Technol. 125 322 (2000)
  25. Voevodin A A, Zabinski J S Thin Solid Films 370 223 (2000)
  26. Brazhkin V V et al. Philos. Mag. A 82 (2) 231 (2002)
  27. Musil J et al. Key Eng. Mater. 230 - 232 613 (2002)
  28. Musil J Acta Metallurg. Sinica 18 (3) 433 (2005)
  29. Zhang S et al. Surf. Coat. Technol. 198 2 (2005)
  30. Musil J in Nanostructured Hard Coatings (New York: Kluwer Acad./Plenum Publ. (2005), Ch. 10
  31. Tsui T Y et al. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 383 447 (1995)
  32. Musil J et al. Surf. Coat. Technol. 154 304 (2002)
  33. Musil J, Jirout M in 5th Asian-European Intern. Conf. on Plasma Surface Engineering, Sept. 12 - 16, 2005 Qingdao City, China; Musil J, Jirout M Surf. Coat. Technol. 201 5148 (2007)
  34. Zeman H, Musil J, Zeman P J. Vacuum Sci. Technol. A 22 646 (2004)
  35. Musil J et al. Thin Solid Films 478 238 (2005)
  36. Musil J, Dohnal P, Zeman P J. Vacuum Sci. Technol. B 23 1568 (2005)
  37. Musil J, Zeman P Solid State Phenomena 127 31 (2007)
  38. Musil J "Properties of hard nanocomposite thin films" in Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, properties and Performance (Eds S Zhang, A Nasar) (London: Imperial College Press, 2007), Ch. 5
  39. Linder C et al. Sens. Actuators A 61 387 (1997)
  40. Lee Y-J et al. Thin Solid Films 320 141 (1998)
  41. Nah J W, Hwang S K, Lee C M Mater. Chem. Phys. 62 115 (2000)
  42. Nah J W et al. Surf. Coat. Technol. 123 1 (2000)
  43. Olowolafe J O et al. Thin Solid Films 365 19 (2000)
  44. Münz W-D J. Vac. Sci. Technol. A 4 2717 (1986)
  45. Donohue L A et al. Surf. Coat. Technol. 94 - 95 226 (1997)
  46. Wadsworth I et al. Surf. Coat. Technol. 94 - 95 315 (1997)
  47. Veprek S, Haussmann M, Reiprich S Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 400 261 (1996)
  48. Holleck H J. Vac. Sci. Technol. A 4 2661 (1986)
  49. Berg C et al. in Handbook of Ceramic Hard Materials (Ed. R Riedel) (Weinheim: Wiley-VCH, 2000) p. 968, Table I
  50. Коротаев А Д и др. Физика и химия обработки материалов (1) 22 (2004)
  51. Korotaev A D, Tyumentsev A N, Litovchenko I Yu Phys. Met. Metallogr. 90 (Suppl. 1) 36 (2000)
  52. Tyumentsev A N et al. in Proc. of 1st Intern. Congress on Radiation Physics, High-Current Electronics, and Materials Modification Vol. 3 (Tomsk, 2000) p. 442
  53. Morris D G in Material Science Foundation (Translation technical publication LVD Switzerland, Germany, UK, USA) Vol. 2 (1998) p. 1
  54. Musil J Surf. Coat. Technol. 125 322 (2000)
  55. Zeman P et al. Mater. Sci. Eng. A 289 189 (2000)
  56. Vlček J et al. Surf. Coat. Technol. 76 - 77 274 (1995)
  57. Musil J, Matous J, Valvoda V Vacuum 46 203 (1995)
  58. Musil J, Vlček J "Physical and mechanical properties of hard nanocomposite films prepared by magnetron sputtering" in Proc. of 1st Intern. Congress on Radiation Physics, High-Current Electronics and Materials Modification Vol. 3 (Tomsk, 2000) p. 393
  59. Vepřek S et al. Surf. Coat. Technol. 108 - 109 138 (1998)
  60. Vepřek S et al. J. Vac. Sci. Technol. A 21 532 (2003)
  61. Vepřek S J. Vac. Sci. Technol. A 17 2401 (1999)
  62. Riedel R (Ed.) Handbook of Ceramic Hard Materials (Weinheim: Wiley-VCH, 2000)
  63. Rogl P, Schuster J C Phase Diagrams of Ternary Boron Nitride and Silicon Nitride Systems (Materials Park, OH: ASM Intern., 1992)
  64. Blanquet E et al. in Chemical Vapor Deposition: Proc. of the 14th Intern. Conf. and EUROCVD-11, Paris September 5 - 9, 1997 (Electrochem. Soc. Proc., Vol. 97 - 25, Eds M D Allendorf, C Bernard) (Pennington, NJ: The Electrochem. Soc., 1997) p. 23
  65. Hirai T, Hayashi S J. Mater. Sci. 17 1320 (1982); Hayashi S et al. J. Mater. Sci. 17 3336 (1982); Hirai T, Hayashi S J. Mater. Sci. 18 2401 (1983)
  66. Mayrhofer P H et al. Appl. Phys. Lett. 86 131909 (2005)
  67. Mayrhofer P H in Nanostructured Thin Films and Nanodispersion Strengthened Coatings (Eds A A Voevodin et al.) (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 2004) p. 57
  68. Vepřek S, Reiprich S Thin Solid Films 268 64 (1995)
  69. Vepřek S, Haussmann M, Reiprich S J. Vac. Sci. Technol. A 14 46 (1996)
  70. Knotek O in Mater. Res. Soc., Fall Meeting/ICEM, Boston, MA, USA, Dec. 2 - 6, 1996, unpublished and private communication
  71. Knotek O et al. Mater. Sci. Eng. A 209 394 (1996)
  72. Voevodin A A, Zabinski J S Thin Solid Films 370 223 (2000)
  73. Hauert R, Patscheider J Adv. Eng. Mater. 2 247 (2000)
  74. Li D et al. Appl. Phys. Lett. 67 203 (1995)
  75. Li D et al. Appl. Phys. Lett. 68 1211 (1996)
  76. Chung Y W Surf. Rev. Lett. 3 1597 (1996)
  77. Veprek S et al. Thin Solid Films 476 1 (2005), see p. 27
  78. Li S Z, Shi Y, Peng H Plasma Chem. Plasma Process. 12 287 (1992)
  79. Vepřek S, Reiprich S, Li S Appl. Phys. Lett. 66 2640 (1995)
  80. Niederhofer A et al. Surf. Coat. Technol. 146 - 147 183 (2001)
  81. Veprek A et al. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 581 321 (2000)
  82. Veprek S et al. Surf. Coat. Technol. 133 - 134 152 (2000)
  83. Li S Z et al., unpublished
  84. Lawn B Fracture of Brittle Solids 2nd ed. (Cambridge: Cambridge Univ. Press, 1993) p. 173
  85. Andrievski R A J. Solid State Chem. 133 249 (1997)
  86. Hammer P et al. Surf. Coat. Technol. 68 - 69 194 (1994)
  87. Mitterer C et al. Surf. Coat. Technol. 120 - 121 405 (1999)
  88. Männling D-H et al. Surf. Coat. Technol. 146 - 147 263 (2001)
  89. Karvánková P et al. Surf. Coat. Technol. 146 - 147 280 (2001)
  90. Karvankova P et al. Surf. Coat. Technol. 163 - 164 149 (2003)
  91. Hultman L Vacuum 57 1 (2000)
  92. Musil J, Baroch P, Zeman P in Plasma Surface Engineering Research and Its Practical Applications (Ed. R Wei) (Kerala: Signpost Publ., 2007), Ch. 1
  93. Zeman P et al. Mater. Sci. Eng. A 289 189 (2000)
  94. Vepřek S et al. Surf. Coat. Technol. 86 - 87 394 (1996)
  95. Hertzberg R W Deformation and Fracture Mechanics of Engineering Materials 3rd ed. (New York: Wiley, 1989)
  96. Veprek S, Veprek-Heijman M G J in Nanostructured Coatings (Eds A Cavaleiro, J Th M De Hosson) (New York: Springer, 2006)
  97. Vaz F PhD Thesis (Minho, Portugal: Univ. of Minho, 2000)
  98. Veprek S et al. Mater. Sci. Eng. A 448 366 (2007)
  99. Procházka J et al. Mater. Sci. Eng. 384 102 (2004)
  100. Holubar P, Jilek M, Sima M Surf. Coat. Technol. 133 - 134 145 (2000)
  101. Männling D-H Diploma Work (Munich: Technical Univ. of Munich, 1999)
  102. Patscheider J MRS Bull. 28 (3) 180 (2003)
  103. Meng W J et al. J. Mater. Res. 17 2628 (2002)
  104. Zhang X D et al. Surf. Coat. Technol. 177 - 178 325 (2004)
  105. Lee E-A, Kim K H Thin Solid Films 420 - 421 371 (2002)
  106. Vaz F et al. Surf. Coat. Tech. 133 - 134 307 (2000)
  107. Veprek S et al. Surf. Coat. Technol. 200 3876 (2006)
  108. Veprek S et al. Thin Solid Films 436 220 (2003)
  109. Doener M F, Nix W D J. Mater. Res. 1 601 (1986)
  110. Pharr G M Mater. Sci. Eng. A 253 151 (1998)
  111. Bull S J, Page T F, Yoffe E H Philos. Mag. Lett. 59 281 (1989)
  112. Fischer-Cripps A C Nanoindentation (New York: Springer, 2002)
  113. Bull S J J. Vac. Sci. Technol. A 19 1404 (2001)
  114. Bull S J Thin Solid Films 398 - 399 291 (2001)
  115. Hu X et al. J. Vac. Sci. Technol. A 20 1921 (2002)
  116. Vaz F et al. Surf. Coat. Technol. 146 - 147 274 (2001)
  117. Winters H F, Sigmund P J. Appl. Phys. 45 4760 (1974)
  118. Winters H F in Plasma Chemistry Vol. 3 (Eds S Vepřek, M Venugopalan) (Berlin: Springer Verlag, 1980) p. 69
  119. Musil J et al. Mater. Sci. Eng. A 340 281 (2003)
  120. Veprek S et al. Mater. Sci. Eng. A 340 292 (2003)
  121. Tabor D The Hardness of Metals (Oxford: Clarendon Press, 1951)
  122. Argon A S, Veprek S Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 697 3 (2002)
  123. Argon A S, Demkowicz M J, Veprek S AIP Conf. Proc. 712 3 (2004)
  124. Rose J H et al. Phys. Rev. B 29 2963 (1984)
  125. Smith J R et al. in Chemistry and Physics of Fracture (Eds R M Latanision, R H Jones) (Dordrecht: Kluwer Acad. Publ., 1987)
  126. Murarka S P J. Vac. Sci. Technol. 17 775 (1980)
  127. Suzuki T et al. J. Mater. Sci. 35 4193 (2000)
  128. Bull S J, Hainsworth S V Surf. Coat. Technol. 122 225 (1999)
  129. Héau C, Terrat J P Surf. Coat. Technol. 108 - 109 332 (1998)
  130. Schmalzried H Chemical Kinetics of Solids (Weinheim: VCH, 1995)
  131. Porter D A, Easterling K E Phase Transformations in Metals and Alloys 2nd ed. (Cheltenham: Stanley Thornes Publ., 2001)
  132. Vepřek S et al. Surf. Coat. Technol. 108 - 109 138 (1998)
  133. Procházka Th J "Superharte TiN/Si3N4 Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstübung kombiniert mit chemischer Gasphaseabscheidung" PhD Thesis (Munich: Technical Univ., 2003); Procházka Th J http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ch/2003/prochazka.pdf
  134. Karvánková P "Superhard nc-TiN/a-BN/a-TiB2 and nc-MnN/a-metal nanocrystalline composite coatings" PhD Thesis (Munich: Technical Univ., 2003); Karvánková P http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ch/2003/karvankova.pdf
  135. Maennlig H-D PhD Thesis (Munich: Technical Univ., 2003); Maennlig H-D http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ch/2003/maennling.pdf
  136. Karvánková P et al. Surf. Coat. Technol., in press
  137. Karvánková P et al. Thin Solid Films 467 133 (2004)
  138. Chase M W et al. "JANAF Thermochemical Tables" J. Phys. Chem. Ref. Data 14 (Suppl. 1) (1985), 3 rd ed.
  139. Veprek S et al. Mater. Sci. Eng. A 366 202 (2004)
  140. Gahn J W Acta Metall. 11 1275 (1963)
  141. Diserens M, Patscheider J, Lévy F Surf. Coat. Technol. 120 - 121 158 (1999)
  142. Diserens M, Patscheider J, Lévy F Surf. Coat. Technol. 108 - 109 241 (1998)
  143. Patscheider J, Zehnder T, Diserens M Surf. Coat. Technol. 146 - 147 201 (2001)
  144. Hauert R et al. Adv. Mater. 11 175 (1999)
  145. Mayrhofer P H et al. Appl. Phys. Lett. 83 2049 (2003)
  146. Münz W-D J. Vac. Sci. Technol. A 4 2717 (1986); Veprek S et al. Thin Solid Films 476 1 (2005)
  147. Münz W-D Werkst. Korros. 41 753 (1990)
  148. Münz W-D et al. in Proc. of Industrial Tooling 2001, September 5 - 6, Southampton (Southampton: Centaur Publ., 2001) p. 1
  149. Tanaka Y et al. Surf. Coat. Technol. 146 - 147 215 (2001)
  150. Bunshah R F (Ed.) Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings 2nd ed. (Park Ridge, NJ: Noyes Publ., 1994)
  151. Karvánková P et al. The Solid Films 467 133 (2004)
  152. Li Z et al. Jpn. J. Appl. Phys. 42 7510 (2003)
  153. Watanabe H et al. Surf. Coat. Technol. 169 - 170 452 (2003)
  154. Nose M et al. Surf. Coat. Technol. 174 - 175 261 (2003)
  155. Zhang C H et al. J. Appl. Phys. 95 1460 (2004)
  156. Nose M et al. J. Vac. Sci. Technol. A 20 823 (2002)
  157. Gleiter H Nanostruct. Mater. 6 3 (1995)
  158. Siegel R W, Fougere G E Nanostruct. Mater. 6 205 (1995)
  159. Yip S Nature 391 532 (1998)
  160. Carsley J E et al. Nanostruct. Mater. 5 441 (1995)
  161. Weertman J R et al. MRS Bull. 24 (2) 44 (1999)
  162. Gleiter H Prog. Mater. Sci. 33 223 (1989)
  163. Argon A S in Physical Metallurgy Vol. 3 (Eds R W Cahn, P Haasen) 4th ed. (Amsterdam: North-Holland, 1996) p. 1878
  164. Argon A S in Materials Science and Technology: a Comprehensive Treatment (Eds R W Cahn, P Haasen, E J Kramer) (Weinheim: VCH, 1993) p. 461
  165. Demkowicz M J, Argon A S Phys. Rev. Lett. 93 025505 (2004)
  166. Gouldstone A, Van Vliet K J, Suresh S Nature 411 656 (2001)
  167. Van Vliet K J et al. Phys. Rev. B 67 104105 (2003)
  168. Jacobs K et al. Science 293 1803 (2001)
  169. Argon A S, Hori Y, Orowan E J. Am. Ceram. Soc. 43 86 (1960)
  170. Veprek S et al. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 750 9 (2003)
  171. Karvánková P et al. Surf. Coat. Technol. 200 2978 (2006)
  172. Kiryukhantsev-Korneev Ph V et al. Surf. Coat. Technol. 201 6143 (2007)
  173. Vlček J et al. J. Vac. Sci. Technol. A 23 1513 (2005)
  174. Shtansky D V et al. J. Mater. Synth. Procces. 6 61 (1998)
  175. Mayrhofer P M, Clemens H, Mitterer S Z. Metall. 96 5 (2005)
  176. Jiang N et al. Mater. Sci. Eng. B 106 163 (2004)
  177. Лаврентьев В И, Погребняк А Д, Шандрик Р Письма в ЖЭТФ 65 86 (1997); Lavrent'ev V I, Pogrebnyak A D, Sandrik R JETP Lett. 65 91 (1997)
  178. Погребняк А Д и др. Письма в ЖТФ 27 (14) 88 (2001); Pogrebnyak A D et al. Tech. Phys. Lett. 27 615 (2001)
  179. Лаврентьев В И, Погребняк А Д, Шандрик Р Письма в ЖЭТФ 65 618 (1997); Lavrent'yev V I, Pogrebnyak A D, Sandrik R JETP Lett. 65 (8) 651 (1997)
  180. Pogrebnjak A D et al. Phys. Lett. A 241 357 (1998)
  181. Pogrebnjak A D, Tolopa A M Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 52 25 (1990)
  182. Васильев М А, Прокопенко Г И, Филатова В С Успехи физики металлов (5) 345 (2004)
  183. Шевченко С В, Стеценко Н Н Успехи физики металлов (4) 219 (2004)
  184. Лариков Л Н Металлофизика и новейшие технологии 17 (9) 56 (1994)
  185. Поздняков В А ФММ 96 (1) 114 (2003); Pozdnyakov V A Phys. Met. Metallogr. 96 105 (2003)
  186. Лариков Л Н Металлофизика и новейшие технологии 19 (1) 19 (2003)
  187. Gautier C, Machet J Thin Solid Films 295 43 (1997)
  188. Стрельницкий В Е, Аксенов И И Пленки алмазоподобного углерода (Харьков: ННЦ ХФТИ, 2006)
  189. Фирстов С А в сб. Прогресивнi матерiали i технологii Т. 2 (Киев: Академперiодика, 2003) с. 610
  190. Гончаренко И М и др. "Формирование нанокристаллических Ti-Cu-N-покрытий в плазме дуговых разрядов низкого давления" в сб. Доклады 7 Международ. конф. "Вакуумные нанотехнологии и оборудование" (Харьков: ННЦ ХФТИ, ИПП "Контраст", 2006) с. 221
  191. Кунченко В В и др. Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (4) 185 (2006)
  192. David A et al. Mater. Sci. Forum 255 - 257 205 (1997)
  193. Krause-Rehberg R, Leipner H S Positron Annihilation in Semiconductors: Defects Studies (Berlin: Springer, 1999)
  194. Renk T J et al. Proc. IEEE 92 1057 (2004)
  195. Zeman P, Musil J, Daniel R Surf. Coat. Technol. 200 4091 (2006)
  196. Musil J et al. Surf. Coat. Technol. 200 3886 (2006)
  197. Zhang R F, Sheng S H, Veprek S Appl. Rhys. Lett. 91 031906 (2007)
  198. Zhang R F, Veprek S Phys. Rev. B 76 174105 (2007)
  199. Veprek S, Argon S, Zhang RF Philos. Mag. Lett. 87 (12) 955 (2007)
  200. Mirkin Ch A MRS Bull. 25 (1) 43 (2000)
  201. Muster D et al. MRS Bull. 25 (1) 25 (2000)
  202. Murray C B et al. MRS Bull. 26 (12) 985 (2001)
  203. Lee G R et al. Surf. Coat. Technol. 201 5207 (2007)
  204. Рагуля А В, Скороход В В Консолидированные наноструктурные материалы (Киев: Наукова Думка, 2007)
  205. Береснев В М и др. Успехи физики металлов 8 (3) 171 (2007)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение