Обсуждаются различные подходы к формированию нанокомпозитных покрытий с высокой и сверхвысокой твёрдостью в диапазоне от $\le 30$ до 100 — 120 ГПа. Основное внимание уделяется анализу механизмов увеличения твёрдости в тонких ($\le 10$ мкм) покрытиях. Рассмотрено несколько вариантов получения нанокомпозитных многокомпонентных покрытий методами магнетронного распыления, ионно-стимулированного и вакуумно-дугового осаждения. Даётся классификация твёрдых и сверхтвёрдых покрытий с высокой термической стабильностью. Показаны возможные применения наноструктурированных покрытий и некоторые перспективы дальнейшего развития этого направления.

PACS: 61.46.−w, 62.20.Qp, 62.25.−g (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200901b.0035 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/1/b/ 000266708800002 2-s2.0-67849118716 2009PhyU...52...29P Цитата: Погребняк А Д, Шпак А П, Азаренков Н А, Береснев В М "Структура и свойства твёрдых и сверхтвёрдых нанокомпозитных покрытий" УФН 179 35–64 (2009) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks English citation: Pogrebnjak A D, Shpak A P, Azarenkov N A, Beresnev V M “Structures and properties of hard and superhard nanocomposite coatings” Phys. Usp. 52 29–54 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200901b.0035