Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)

К.Н. Кошелев^а, В.Е. Банин^б, Н.Н. Салащенко^в, В.И. Балыкин^а, Ю.Е. Лозовик^а, А.М. Попов^а
^аИнститут спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
^бASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands
^вИнститут физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.

Текст pdf (676 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321

DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707g.0777
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/g/
Scopus

2-s2.0-35948961904
ADS NASA

2007PhyU...50..741K
Цитата: Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н, Балыкин В И, Лозовик Ю Е, Попов А М "Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)" УФН 177 777–780 (2007)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Koshelev K N, Banine V E, Salashchenko N N, Balykin V I, Lozovik Yu E, Popov A M “Scientific session of the Physical Sciences Division of the Russian Academy of Sciences (31 January 2007)” Phys. Usp. 50 741–744 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321