Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)
К.Н. Кошелева,
В.Е. Банинб,
Н.Н. Салащенков,
В.И. Балыкина,
Ю.Е. Лозовика,
А.М. Попова аИнститут спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация бASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands вИнститут физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация
31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.
DOI:10.3367/UFNr.0177.200707g.0777 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/g/ 2-s2.0-35948961904 2007PhyU...50..741K Цитата: Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н, Балыкин В И, Лозовик Ю Е, Попов А М "Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)" УФН177 777–780 (2007)
PT Journal Article
TI Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)
AU Кошелев К Н
FAU Кошелев КН
AU Банин В Е
FAU Банин ВЕ
AU Салащенко Н Н
FAU Салащенко НН
AU Балыкин В И
FAU Балыкин ВИ
AU Лозовик Ю Е
FAU Лозовик ЮЕ
AU Попов А М
FAU Попов АМ
DP 10 Jul, 2007
TA Усп. физ. наук
VI 177
IP 7
PG 777-780
RX 10.3367/UFNr.0177.200707g.0777
URL https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/g/
SO Усп. физ. наук 2007 Jul 10;177(7):777-780