Наличие метода, обеспечивающего возможность контролируемого создания объемного «рисунка», состоящего из областей с требуемыми физическими и химическими свойствами, является ключевым условием для радикального прогресса в технологиях XXI века. Это особенно актуально, если метод позволяет обеспечить создание таких областей с размерами вплоть до нанометровых. В нашей работе впервые предлагается способ целенаправленной прямой трансформации наиболее важных физических свойств материалов, таких как электрические, магнитные, оптические и др., за счет радикального изменения атомного состава твердых тел. Физические основы новой технологии связаны с открытым нами эффектом селективного удаления атомов из тонких пленок двух- или многоатомных соединений пучками ускоренных частиц. Возможности этого метода исследованы и подтверждены нашими многочисленными экспериментами. В частности, показано, что селективное удаление атомов определенного сорта позволяет целенаправленно переводить диэлектрики в металлы или полупроводники, немагнитные материалы — в магнитные, а также радикально изменять оптические характеристики материалов и ряд других свойств. Возможность селективного удаления атомов определенного сорта из вещества представляет большой интерес для технологий будущего, в первую очередь, связанных с потребностями как наноэлектроники, так и с множеством «нанопроблем» третьего тысячелетия.
TY JOUR
TI Controlled ion-beam transformation of electrical, magnetic, and optical materials properties
AU Gurovich, B. A.
AU Dolgii, D. I.
AU Kuleshova, E. A.
AU Velikhov, E. P.
AU Ol’shanskii, E. D.
AU Domantovskii, A. G.
AU Aronzon, B. A.
AU Meilikhov, E. Z.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2001
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 171
IS 1
SP 105-117
UR https://ufn.ru/ru/articles/2001/1/d/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0171.200101d.0105