Масс-спектрометрический метод течеискания связан с обнаружением пробного вещества в используемой установке с помощью прибора, основанного на принципе масс-спектрометра. Для проведения испытаний вакуумная система течеискателя через дросселирующий кран соединяется с предварительно откачанным испытуемым объёмом, который обдувается пробным газом. Частицы воздуха и пробного газа, проникшие через течь в объём вместе с молекулами остаточных газов, попадают в масс-спектрометрическую камеру течеискателя, ионизируются и разделяются по массам. Величина ионного тока, создаваемого пробным веществом, характеризует количество газа, проникшего в объём, т. е. величину течи (если работа ведётся методом обдувания отдельных мест) или общее натекание (если испытуемый объём целиком помещен в атмосферу пробного газа).