Масс-спектрометрический метод течеискания связан с обнаружением пробного вещества в используемой установке с помощью прибора, основанного на принципе масс-спектрометра. Для проведения испытаний вакуумная система течеискателя через дросселирующий кран соединяется с предварительно откачанным испытуемым объёмом, который обдувается пробным газом. Частицы воздуха и пробного газа, проникшие через течь в объём вместе с молекулами остаточных газов, попадают в масс-спектрометрическую камеру течеискателя, ионизируются и разделяются по массам. Величина ионного тока, создаваемого пробным веществом, характеризует количество газа, проникшего в объём, т. е. величину течи (если работа ведётся методом обдувания отдельных мест) или общее натекание (если испытуемый объём целиком помещен в атмосферу пробного газа).

@article{Levina:1955,
	author = {Л. Е. Левина},
	title = {Современные методы течеискания},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {1955},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {55},
	number = {1},
	pages = {101-110},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/1955/1/d/},
	doi = {10.3367/UFNr.0055.195501d.0101}
}