Масс-спектрометрический метод течеискания связан с обнаружением пробного вещества в используемой установке с помощью прибора, основанного на принципе масс-спектрометра. Для проведения испытаний вакуумная система течеискателя через дросселирующий кран соединяется с предварительно откачанным испытуемым объёмом, который обдувается пробным газом. Частицы воздуха и пробного газа, проникшие через течь в объём вместе с молекулами остаточных газов, попадают в масс-спектрометрическую камеру течеискателя, ионизируются и разделяются по массам. Величина ионного тока, создаваемого пробным веществом, характеризует количество газа, проникшего в объём, т. е. величину течи (если работа ведётся методом обдувания отдельных мест) или общее натекание (если испытуемый объём целиком помещен в атмосферу пробного газа).

RT Journal
T1 Современные методы течеискания
A1 Левина,Л.Е.
PB Успехи физических наук
PY 1955
FD 10 Jan, 1955
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 55
IS 1
SP 101-110
DO 10.3367/UFNr.0055.195501d.0101
LK https://ufn.ru/ru/articles/1955/1/d/