Прогресс в технологии изготовления многослойных интерференционных зеркал нормального падения позволяет распространить традиционные для оптики методы микроскопии, астрономии и литографии в вакуумный ультрафиолетовый (ВУФ) диапазон (длины волн 10—200 нм) и длинноволновую часть мягкого рентгеновского (МР) диапазона (длины волн 2—10 нм). Благодаря короткой волне и особенностям её взаимодействия с веществом излучение этих диапазонов предоставляет уникальные возможности для нанофизики, нанотехнологии и нанодиагностики вещества. Для использования преимущества короткой волны в полном объёме необходима оптика дифракционного качества, точность которой должна быть как минимум на два порядка выше точности традиционной оптики. Даётся анализ реальных возможностей традиционных методов изготовления и изучения прецизионных оптических элементов, сообщается о развиваемых в Институте физики микроструктур РАН методах изготовления и характеризации оптики дифракционного качества для ВУФ- и МР-диапазонов. Приводятся примеры применения такой оптики для задач внеземной астрономии, рентгеновской микроскопии и литографии.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, оптика дифракционного качества, интерферометрия, асферическая поверхность, ионное травление, шероховатость, рентгеновская микроскопия, астрономия, литография PACS:06.30.−k DOI:10.3367/UFNr.2019.05.038601 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/ 000537855600006 2-s2.0-85085103717 2020PhyU...63...67C Цитата: Чхало Н И, Малышев И В, Пестов А Е, Полковников В Н, Салащенко Н Н, Торопов М Н "Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения" УФН190 74–91 (2020)
%0 Journal Article
%T Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applications
%A N. I. Chkhalo
%A I. V. Malyshev
%A A. E. Pestov
%A V. N. Polkovnikov
%A N. N. Salashchenko
%A M. N. Toropov
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 2020
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 190
%N 1
%P 74-91
%U https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/f/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038601
Поступила: 4 июля 2019, одобрена в печать: 22 мая 2019