Рассмотрены последние наиболее интересные достижения и тенденции развития технологий выращивания графена на медных подложках. Анализируются влияние качества подготовки подложки и других параметров процесса на свойства плёнок, полученных при разных давлениях и температурах на медной фольге и более тонких слоях меди. Обсуждаются способы получения крупных монокристаллических доменов графена и их свойства, а также технологии, не требующие переноса плёнки графена на диэлектрическую подложку. Ещё один обсуждаемый в статье важный подход — это возможность латерального роста графена от специально сформированных мультиграфеновых или углеродсодержащих зародышей и металлических катализаторов.

PACS: 68.65.Pq, 81.05.ue, 81.15.Gh, 81.16.Be (все) DOI: 10.3367/UFNr.0183.201310i.1115 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2013/10/i/ 000329313100004 2013PhyU...56.1013A Цитата: Антонова И В "Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках" УФН 183 1115–1122 (2013) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 14 февраля 2013, доработана: 2 марта 2013, одобрена в печать: 27 февраля 2013 English citation: Antonova I V “Chemical vapor deposition growth of graphene on copper substrates: current trends” Phys. Usp. 56 1013–1020 (2013); DOI: 10.3367/UFNe.0183.201310i.1115