Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов

А.Д. Погребняк^а, б, А.Г. Пономарев^а, А.П. Шпак^в, Ю.А. Куницкий^в
^аСумский государственный университет, Сумы, Украина
^бСумской институт модификации поверхности, ул. Роменская 87, а/я 163, корп. М, Сумы, 244034, Украина
^вИнститут металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского 36, Киев, 03680, Украина

Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов (например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов), при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.

Текст pdf (4,1 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287

PACS: 07.78.+s, 78.70.Bj, 81.16.Ta, 84.40.-z (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/
Web of Science

000305464600003
Scopus

2-s2.0-84863474680
ADS NASA

2012PhyU...55..270P
Цитата: Погребняк А Д, Пономарев А Г, Шпак А П, Куницкий Ю А "Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов" УФН 182 287–321 (2012)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Pogrebnyak:2012,
	author = {А. Д. Погребняк and А. Г. Пономарев and А. П. Шпак and Ю. А. Куницкий},
	title = {Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {2012},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {182},
	number = {3},
	pages = {287-321},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/2012/3/e/},
	doi = {10.3367/UFNr.0182.201203d.0287}
}

Поступила: 8 февраля 2011, доработана: 14 апреля 2011, одобрена в печать: 28 апреля 2011

English citation: Pogrebnjak A D, Ponomarev A G, Shpak A P, Kunitskii Yu A “Application of micro- and nanoprobes to the analysis of small-sized 3D materials, nanosystems, and nanoobjects” Phys. Usp. 55 270–300 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201203d.0287