Выпуски

 / 

1995

 / 

Август

  

Обзоры актуальных проблем


Заряженные дислокации в полупроводниковых кристаллах

 а,  б
а Институт физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация
б Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка, Московская обл., Российская Федерация

Обсуждается состояние проблемы заряженных дислокаций в полупроводниковых кристаллах германия и кремния. Для описания равновесных свойств пластически деформированных германия и кремния использована феноменологическая модель электронного спектра на заряженных дислокациях в этих кристаллах, развивающая представления Шокли-Рида. Модель содержит два акцепторных уровня E1 и E2, а также один донорный ε1. Кроме того, оказывается необходимым введение конечной емкости C1 для акцепторного уровня E1. В рамках принятой модели удается самосогласованно описать основные электрические свойства пластически деформированных германия и кремния. Речь идет о проводимости этих кристаллов в n и p состояниях, деталях инверсии типа проводимости дислокационного происхождения, особенностях ВАХ для кристаллов с ориентированным набором дислокаций, простейших релаксационных явлениях и т.д. При этом для германия уровень E1 оказывается расположенным в окрестности E1 \backsimeq 0,1 эВ над потолком валентной зоны, а емкость C1 \lesssim 0,1. В случае кремния E1 \backsimeq 0,4 эВ, C1 \lesssim 0,1. Обращает на себя внимание малость емкости C1, что оправдывает введение этих дополнительных параметров в характиристики электронного спектра на дислокациях.

Текст pdf (680 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1995v038n08ABEH000099
PACS: 61.72.Lk, 71.55.Cn, 72.80.Cw (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0165.199508b.0887
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1995/8/b/
A1995TF94900002
Цитата: Шикин В Б, Шикина Ю В "Заряженные дислокации в полупроводниковых кристаллах" УФН 165 887–917 (1995)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Shikin V B, Shikina Yu V “Charged dislocations in semiconductor crystalsPhys. Usp. 38 845–875 (1995); DOI: 10.1070/PU1995v038n08ABEH000099

Список литературы (66) Статьи, ссылающиеся на эту (24) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Velikhanov A R Physica B: Condensed Matter 621 413205 (2021)
  2. Gradoboev A V, Orlova K N et al Instrum Exp Tech 64 720 (2021)
  3. Syshchyk O, Hsu B et al Phys. Rev. Applied 14 (2) (2020)
  4. Mandel A M, Oshurko V B, Pershin S M Quantum Electron. 49 505 (2019)
  5. Levchenko A, Mezhov-Deglin L et al 45 823 (2019)
  6. Kittler M, Reiche M et al Physica Status Solidi (a) 216 (17) (2019)
  7. Sukach A V Optoelektron. napìvprovìd. teh. 53 60 (2018)
  8. Gestrin S G, Shchukina E V Russ Phys J 59 2143 (2017)
  9. Olikh Ya M, Tymochko M D Ukr. J. Phys. 61 381 (2016)
  10. Chikina I, Shikin V 41 465 (2015)
  11. Krasavin S E Semiconductors 46 598 (2012)
  12. Shekoyan A V J. Contemp. Phys. 46 70 (2011)
  13. Sukach A V Semicond. Phys. Quantum Electron. Optoelectron. 14 416 (2011)
  14. Hovakimian L B Appl. Phys. A 96 255 (2009)
  15. Shikin V B, Nazin S S et al Russ J Electrochem 43 667 (2007)
  16. Steinman E A, Tereshchenko A N, Abrosimov N V SSP 131-133 607 (2007)
  17. Smirnov Yu M, Kaplunov I A, Dolmatov A B Russ Phys J 48 460 (2005)
  18. Skvortsov A A, Gonchar L I, Orlov A M Phys. Solid State 45 1683 (2003)
  19. Meilikhov E Z, Farzetdinova R M Physica B: Condensed Matter 284-288 1908 (2000)
  20. Skvortsov A A, Orlov A M et al Phys. Solid State 42 1861 (2000)
  21. Skvortsov A A, Orlov A M et al Phys. Solid State 42 2054 (2000)
  22. Veliev Z A Semiconductors 33 1291 (1999)
  23. Shevchenko S A J. Exp. Theor. Phys. 88 66 (1999)
  24. Meilikhov E Z, Farzetdinova R M Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures 3 190 (1998)

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение