Техника ионной имплантации

Рецензия на книгу:
Ion Implantation Techniques/Ed. by H. Ryssel, H. Glavischnig.— Berlin; New York: Springer-Verlag, 1982.— 366 p.— (Springer Series in Electrophysics. V.10).

Текст pdf (207 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

DOI: 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/
Цитата: Вавилов В С "Техника ионной имплантации" УФН 140 737–738 (1983)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline

RefWorks

Русский

English

RT Journal
T1 Техника ионной имплантации
A1 Вавилов,В.С.
PB Успехи физических наук
PY 1983
FD 10 Aug, 1983
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 140
IS 8
SP 737-738
DO 10.3367/UFNr.0140.198308l.0737
LK https://ufn.ru/ru/articles/1983/8/l/