Научная сессия Отделения общей физики и астрономии и Отделения ядерной физики Академии наук СССР (23 — 24 июня 1976 г.)
PACS:01.10.Fv DOI:10.3367/UFNr.0120.197612n.0706 URL: https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/ Цитата: Зарипов М М, Хайбуллин И Б, Штырков Е И "Отжиг ионно-легированных слоев под действием лазерного излучения" УФН120 706–708 (1976)
RT Journal
T1 Annealing of Ion-Implanted Layers Under the Action of Laser Radiation
A1 Zaripov,M.M.
A1 Khaybullin,I.B.
A1 Shtyrkov,E.I.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 1976
FD 10 Dec, 1976
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 120
IS 12
SP 706-708
DO 10.3367/UFNr.0120.197612n.0706
LK https://ufn.ru/ru/articles/1976/12/n/